红外折衍混杂ftheta镜研究论文.pdfVIP

红外折／衍混杂f-theta镜研究木 王肇圻，刘娟，傅汝廉 (南开大学现代晃学研究所；光电信息技术科学教育部重点实验室。天津300071) nm一1064rim波段和1064nin 摘要：根据现代红外激光扫描系统的需求，分别设计了工作于808 一1500 am波段的折／衍混杂f-theta系统。系统分别由三片镜和四片镜组成，激光扫描范围分别为 rim一1500 100x100mm2和60x60mm2。此二系统相配合，可以完成在808 nm波长范围的激光扫描 工作。点列图分析表明，输出光斑质量优良均匀，在0视场、0．7视场、和全视场光斑均接近衍射极 mm，最大f-theta误差小于o．03％。 限。像差分析表明，系统最大色差为26岬，最大场曲小于O．3 满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求。 关键词：f-theta透镜；折／衍混杂系统：激光打标：光学设计 1引言 近年来，激光打标技术已成为激光加工的最大应用领域之一Il—J，并以其标记速度快，字迹清晰， 防伪功能强，污染小等特点得到]二业界的J’‘泛关注。目前国内主要使用振镜扫描系统。激光束经扩 束入射到两个被电机控制的互相垂直的振镜上，两个振镜可以分别在X和Y方向扫描，实现激光束 的偏转。光束经f-theta透镜聚焦于工作面上，同时光束入射角与像面上的光斑位置满足线性关系， 从而通过控制入射光束的扫描角来控制光斑在像面上的位置。当前用于打标的激光器主要有C02激 光器，Nd：YAG激光器和激光二极管。其中激光二极管以其易于使用，易于维修，运行费用低成为 热点。光纤激光器自九十年代末出现后，由于其光束质量好，脉冲重复频率高，效率高等优点，很快 就被应用于激光打标系统上【3I。目前国内外有多家公司从事f-theta系统的研究开发，如德国 Rodenstock公司，新加坡的新加坡波长科技公司，国内的武汉焦点光学技术有限公司，中国科学院。 光电技术研究所等，均形成了自己的产品系列。但是现有产品均用于单色系统，当更换工作物质时， 由于其吸收系数的改变，需要改变激光波长；相应地也要更换扫描镜头和重新调整系统，影响系统 的稳定性。而设计可以应用于多波长的t：theta系统可以解决这一困难。这就需要对系统进行色差以 及像差的矫正。传统的解决方法是增加透镜的片数，通过正负透镜的组合来满足多波长的要求。 从80年代中期起，二元光学元件开始应用于光学系统。利用二元光学元件的特殊色散性质，可 以用较简单的光学系统来消色差和矫正像差，同时可以减小系统体积和重量【4。6J。根据现代激光打标 nm一1064 nm一1500 机的实际需求，本文分别设计了：I：作于808 rim波段和1064 nm波段的折／衍混杂 f-them系统。系统的色差、场曲、f-theta误差均得到很好的矫正，光斑质量优良，接近衍射极限。 2折／衍混合红外f-theta系统 对于一般的光学系统，其理想像高h可以表示为： h=f×tan0 (1) 即像高与入射角鳓正切成正比。若用于激光扫描系统，由于像高与扫描角之间不成线性关系I， 因此以等角速度偏转的入射光束在焦面上的扫描速度并不是常数。为了实现等速扫描，须使透镜产 0，这样的系统为f-theta镜。此时产生畸 生一定的负畸变，使像高与入射角缄线性关系，即h=fX 变Ah，表示为： Ah=／×19一厂×tan|9=厂p—tan 通常设计中所需要的负畸变不能完全满足，即户秽条件有误差，定义户口误差(％)为： +国家自然科学基金，用LCOS和折射／衍射混杂目镜的头盔系统 一108—