超声键合换能器的研究——回顾与展望 - 声学技术.pdf

第 卷第 期 声 学 技 术 , 25 3 Vol.25 No.3 年 月 , 2006 06 TechnicalAcoustics Jun.2006 超声键合换能器的研究———回顾与展望 周铁英 清华大学物理系 北京 ( , 100084) 摘要 回顾了超声键合用换能器的发展状况 特别是在我国的研究状况 对超声键合用换能器的研究方法进行了总 : , 。 结 例如等效网络法 直接解振动与波动方程法 有限元法 不少单位已经编制了等效网络法的计算程序 可以迅速 , 、 、 。 , 准确地得到细长和简单换能器结构的频率特性和导纳曲线 利用有限元软件可以计算复杂结构的换能器特性 是当 ; , 今设计仿真的有效工具 论文结合当前微电子 集成芯片对超声键合的大量需求 展望了超声键合换能器的发展前 。 、 , 景 除高频换能器和小体积的换能器需要进一步研究外 性能更加稳定和优良的换能器依然是研究的热点 。 , 。 关键词 超声键合 换能器 品质因数 研究方法 : ; ; ; 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TB559 A 100003-0258-04 Developmentandprospectofultrasonicbondingtransducer ZHOUTie-ying ( , , ) DepartmentofPhysics,TsinghuaUniversityBeijing100084China : Abstract Thispaperreviewsthedevelopmentofultrasonicbondingtransducer, speciallythe developmentinChina.Methodsusedinthestudyofultrasonicbondingtransduceraresummarized, suchasequivalentnetwork,directsolutionofthevibrationandwaveequations,andfiniteelement method(FEM).Programsforthenetworkmethodhavebeendevelopedbymanyresearchers,whichcan beusedtocalculatefrequencyandadmittancecharacteristicsoflongandthintransducersrapidlyand accurately. FEM