高精度电容式MEMS加速度计系统设计.pdfVIP

传感器与微系统（ ） 年 第 卷 第 期 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ａｎｄ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ２０１７ ３６ ６ ９８ ： — （ ） — — ＤＯＩ １０．１３８７３／ Ｊ．１０００ ９７８７ ２０１７ ０６ ００９８ ０４ 高精度电容式ＭＥＭＳ加速度计系统设计 １ １ ２ １ ２ １ ２ １ １ ， ， ， 李宗伟 ，杨　 燕 ，熊兴肶 ，丛　 宁 ，辛　 维 ，韩可都 （１．中国科学院地质与地球物理研究所，中国科学院油气资源研究重点实验室，北京１０００２９； ２．中国科学院大学，北京１０００４９） ：在传统 架构基础上，引入了低精度高速模 数转换器（ ），将前置放大器输出的模拟电压 摘　 要 Σ Δ ／ ＡＤＣ 信号转换为数字信号，有利于简化电容式微电子机械系统（ＭＥＭＳ）加速度计系统模拟接口电路设计。在 嵌入 的 加速度系统中，采用过采样平均数字算法对信号进行估计，有效降低系统对前置放大 ＡＤＣ ＭＥＭＳ 器噪声性能的需求，利于实现低功耗和高精度的设计目标。仿真结果表明：与未采用过采样平均技术相 比，当前置放大器输出等效噪声大于 时，系统的信噪比（ ）提高了约 。 １ Ｖ／ Ｈｚ ＳＮＲ １０ｄＢ μ 槡 关键词：微电子机械系统；  ；模／ 数转换器；数字环路滤波器；过采样平均 Σ Δ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： — （ ） — — ＴＰ２１２ ＴＮ４３２　 　 　 Ａ　 　 　 １０００ ９７８７ ２０１７ ０６ ００９８ ０４ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ ａ ｈｉｇｈ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ＭＥＭＳ ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ ｓｙｓｔｅｍ １ １ ２ １ ２ １ ２ １ １ ， ， ， ＬＩ Ｚｏｎｇｗｅｉ ，ＹＡＮＧ Ｙａｎ ，ＸＩＯＮＧ Ｘｉｎｇｙｉｎ ，ＣＯＮＧ Ｎｉｎｇ ，ＸＩＮ Ｗｅｉ ，ＨＡＮ Ｋｅｄｕ （ ， ， １．Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｐｅｔｒｏｌｅｕｍ Ｒｅｓｏｕｒｃｅｓ Ｒｅｓｅａｒ