大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发.pdfVIP

大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发.pdf

  1. 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发.pdf

第36卷第5期 太阳能学报 V01.36.No.5 2015年5月 ACTAENERGIAESOLARISSINICA May,2015 文章编号:0254-0096(2015)05.1268.06 大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发 颖3, 蓝仕虎1,赵 辉1,杨 娜2,曲铭浩1,胡安红1,张迎春2,赵 张晓丹3,汪 涛4,樊正海4,王建强4,张津岩1,徐希翔1 (1.福建铂阳精工设备有限公司研发中心,成都610200;2.北京精诚铂阳光电设备有限公司,北京100716; 3.南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津300071;4.四川汉能光伏有限公司,成都610200) 摘要:该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研 发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化 率的影响;在硬件设计方面,对不同弦高气盒,密封结构气盒和非密封结构气盒进行系统比较,研究对薄膜的非均 匀性、沉积速率的影响。通过工艺参数及硬件优化,最终得到沉积速率接近5ks、晶化率约为60%、晶化率及膜厚 mXl.4 的非均匀性均小于10%的纳米硅薄膜。以此膜层制备技术为基础,在1.1 in面积的透明导电玻璃基板上制备 出初始功率为154.97W(全面积转换效率10.1%)的非晶硅,纳米硅双结叠层太阳电池。 关键词:薄膜太阳电池;纳米硅薄膜;大面积均匀性;高沉积速率;气盒 中图分类号:TK513 文献标识码:A 电池,转换效率达到10.7%[1]。为了实现纳米硅薄 0引 言 膜太阳电池的产业化,必须研制出高沉积速率的纳 近年来,非晶硅和纳米硅薄膜叠层太阳电池组 米硅薄膜沉积生产设备。 件日渐成为低成本、无污染、高效率光伏应用的最 制造纳米硅叠层太阳电池的关键设备是等离 佳选择之一。汉能硅基薄膜太阳电池目前已有近 子体增强化学气相沉积法系统(PECVD)。影响沉 3GW的产能。硅基薄膜太阳电池具有无环境污 积薄膜质量的因素很多,首先是硬件设备结构(如 染、原材料丰富、产业化技术成熟等优势;但与其他 电极形状、电极间距、气盒结构、电源频率等),其次 薄膜太阳电池相比,非晶硅基薄膜太阳电池的光电 是薄膜制备工艺(如射频功率、沉积压力、沉积温 转换效率相对较低。目前a.Si/a.SiGe/a.SiGe三结 度、气体流量等)乜1。国内外只有少数几家供应商提 叠层太阳电池的稳定发电效率在8%~10%,而CdTe 供沉积纳米硅薄膜的PECVD设备,且价格较昂 和CIGS薄膜太阳电池发电效率在11%~15%。在 贵。要实现非晶硅基叠层太阳电池向非晶硅/纳米 非晶硅基太阳电池基础上引入纳米硅电池,可进一 硅叠层太阳电池的技术升级,主要的设备投入在 步提高硅基薄膜太阳电池对800~1200nm太阳光 PECVD设备升级上。自主设计和研发纳米硅薄膜 谱的吸收,同时具有较弱的光致衰减效应,纳米硅 基叠层太阳电池的稳定转换效率可进一步提升到 的PECVD系统,将大大节约设备投资成本。 11%~12%

文档评论(0)

heroliuguan + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

版权声明书
用户编号:8073070133000003

1亿VIP精品文档

相关文档