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科 1技 1论 i坛 科
表2力一频特性与谐振器电极面积的关系 IEEE TransSonicsUhrason。1978．SU一25：132—
138 ．
[3]H．F．Tiersten，B．K．Sinha and T．R．
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on anisotroic substrates and its influenee on
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AnalysisofaQuartzDigitalAcceleromcteIJJ．
IEEE transactions on ultrasonics，ferroelectrics
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4分析讨论 同基频晶振平片倒边的比平凸晶振的力频转换
从电极尺寸结构不同的两个晶振电极中 系数要大。从有限元分析和实验数据的相对误
心应力分析结果可以得到： 差分析可得，有限元分析是有效可靠的，同时也
△ =2083N ／m 又一次映证了作者提出的晶振频率变化是由晶
△ =2096N／m 振电极中心区的应力决定的这一结论。利用该
虽然只是取了 P‘=8．0mm和 P‘自=6．0ram 结论通过ansys仿真可以大大方便对石英谐振
两个晶振作对比实验，但是根据石英晶体谐振 器力频特性的开发利用。
器的力频变化是由电极中心区的应力决定这样 参考文献
一 个结论，可以发现，电极大小对石英晶体的力 1『]B．B．马洛夫．压 电谐振传感器．翁善 臣[M]．北
频特性影响是非常小的，为了更好的说明问题， 京：国防工业 出版社，1984：1-237．
下面利用它们的比值和实验结果作对 比分析。 [21E．P．EerNisse，T．Lukaszek，anA．Ballat．
中心应力比值： Variationalcalculation offorce-frequency con-
_，^
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