応用磁気雏形（JP）.doc

　光熱駆動マイクロモーターの基礎検討 高山佳典＊,白神清民,越本泰弘 和歌山大学 Basic study of Photothermal Drive Micromotor Yoshinori Takayama , Kiyotami Shiraga , Yasuhiro Koshimoto Wakayama University 1.はじめに これまでに筆者らは光照射によって形成される感温磁性材料部の温度勾配による磁気エネルギー差を利用した光熱駆動方式の可能性を検討してきた。今回の報告では、解析とモデル実験において駆動力発生が定量的に確認できたので、解析とモデル実験の比較と作成した伝熱解析プログラムによるマイクロアクチュエーターの伝熱解析結果について報告する。 2.動作原理 駆動力を発生する上ではエネルギーの勾配　　　を人為的に形成すればよい。本実験ではFig.1に示すような基本構造を考え、光照射により感温磁性材料を用いた磁性円板を部分的に加熱し、永久磁石を用いた磁気回路によって均一な磁場を印加すると、磁性円板には磁束密度勾配が生じ、磁気エネルギーの高い方から低い方に駆動力が発生し、モーターは回転する。 Fig.1 Basic structure 3.実験結果 Fig.1で示した寸法を用いた解析結果とモデル実験の比較をTable1に示す。 Table1 Result of analysis and model experiment Analysis Model experiment Turning on energy 1.35[W] 1.5[W](presumption) Magnetic field 70[kA/m] 72[kA/m] Driving power 40[mN] 40～45[mN] (start torque) 伝熱解析の結果、空気放熱のみでは有効な温度勾配を形成することができず、放熱機構が必要であることがわかった。また起動トルクに関しては天秤法で測定を行ったが、回転トルクは測定できていない。 4.光熱駆動マイクロアクチュエーターの作製 現在マイクロオーダーで扱える中心保持機構に適当なものがないことから、往復運動型のカンチレバー形状の光熱駆動マイクロアクチュエーターの作製を進めている。それに際して時間差分を考慮した伝熱解析プログラムを作成し解析を行った結果、加熱領域が20×20[μm]のマイクロアクチュエータであれば、16[μW]のエネルギー投入で、最大トルクでの駆動に35[msec]、放熱に10[msec]かかることがわかった。 Fig2. Result of heat analysis 参考文献： 1)高山ら;2004マグネティックス研究会MAG-04-95 2)高山ら;2003応用磁気学会学術講演概要集16pPS-8 3)橋本悦ら(NTT)；熱磁化制御機構の研究 4)西川雅弘ら(大阪大学)；排熱エネルギー回収のための熱磁気エンジンの開発 －2－ XXXX－X　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　第28回日本応用磁気学会学術講演概要集（200） - 1 -