- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
1Slider工序简介
二、Lapping Machining(研磨机械加工)主要工序介绍 Pre-Lapping 将切线后Row研磨,去除划线毛刺。并对其用震荡的方式清洗,以去除污秽。 SSCL (单粒研磨) 对冷却后row bar 放在夹具上,用相应机器进行测量其电阻值,并据此对其研磨,直到电阻值达到所测电阻要求为准。 SSCL * 二、Lapping Machining(研磨机械加工)主要工序介绍 1/10 O1A Crown Touch Lapping 对研磨后的Row Bar 进行清洗,加热冷却后,用球形坯重新研磨ABS面,以改善花痕,磨出弧度 * 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 清洗检查 对每Row Bar 的ABS 面用 CM3擦3次,再用CM1进行荡洗,然后用超声波进行震洗,最后用40X镜检查ABS面的清洁度等。 DLC (极尖加保护膜) DLC(非晶碳类金钢石膜)的英文全称为Diamond Like Carbon,即有金钢石膜的硬度,又有石墨的润滑性,其硬度大,可很好的帮助Slider增加CSS(起动、停止)性能。从而保护磁头,防止化学品的腐蚀,改善其飞行高度,使磁头具有优良的读写性能。 这一过程在真空中进行,在 Veeco DLC机器中,通过沉积镀膜和溅射镀膜两种方式在ABS面上覆盖一层硅和金刚碳膜,镀硅的目的在于做一层介质在DLC膜与Row Bar 表面,从而使DLC膜与Row Bar表面有较强的附著力。 * 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 DLC * EBS(Enhanced Bar Bonding System) 此工序目的在于将一定量的Row Bar粘接到夹具上,为后道工序作准备,并用环氧树胶保护Row Bar 的Bond Pad,防止离子蚀刻工序中出现坏品。 其步骤是:准备盘形夹具,由P-EBS机或S-EBS机先在夹具上涂一层胶水,然后将Row Bar 粘到Jig上。然后将Row Bar放在夹具上加热20分钟,以使Row Bar 牢固的粘到夹具 上,并对其冷却固化。 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 * 黄房工序 Lamination( 过菲林) 通过层压机,加热后,在Row Bar Bar的ABS面覆盖一层具有感光特性的菲林,目的在于保护ABS面不需要离子蚀刻的部分,以防被蚀刻。 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 * 黄房工序 Exposure( 曝光) 通过步进式曝光机,将Reticle上的Pattern投影到ABS面上,同时使菲林发生化学变化。 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 * 黄房工序 Development (显影) 将Row Bar 固定在显影机中,用碳酸钠冲洗Row Bar 表面,未感光的菲林被溶解并冲洗掉,最后只留被菲林覆盖ABS面。 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 * Ion Milling (离子蚀刻) Ion Milling即离子束蚀刻,属于一种对薄膜进行超精细加工的工艺,由氩气离子在磁场作用下对Row Bar 表面进行物理溅射,从而将末覆盖菲林部分蚀刻掉,形成通气槽,此过程为物理过程。 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 * 三、Vacuum(真空)主要工序介绍 Reactive Ion Etching RIE即反应离子蚀刻,由氟离子与Row bar反应,在蚀刻了Shallow面后,将ABS面和Shallow 面用菲林保护起来,蚀刻通气槽。 * 四、Row Machining(磁条机械加工阶段) R-H Testing 对上道工序来料进行R-H检验,R-H机焊针检测焊线位,测量磁头电阻、输出电压、噪音系数等参数,这些参数是磁头的读写性能参数。 Head Parting (磁头切割) 利用高速旋转的磨轮,将Row Bar 切割成符合要求的Slider。 Sorting 用机器检查所切割Slider是否坏品。 Head Parting * 五、PQC检查(外观检查和QA抽检) 来料检查 检查来料是否混乱、是否有污迹。 QA抽检 QA用30X镜抽检Slider的五个面(除ABS)是否有坏品 PQC检查 用100X检查ABS面,用200X检查极尖 QA抽检 用100X检查ABS面,用200X检查极尖 Mark检查及清洗 QA抽检后包装入仓 * The End * A Brief Introduction To Slider Manufacturing Process * . 课程大纲 Slider生产相关图形说明 图形说明Slider生产过程 Slider生产五大工序 Slider生产基本流程 Slider生产工序介绍 * 一、Slider 生产相关图形说明 Slider Slider是Slider工产工序的最终产品,是Row
文档评论(0)