强脉冲离子束辐照钛靶表面凹坑形成机理研究.pdfVIP

第26卷 第4期 沈阳师范大学学报(自然科学版) Vo1．26，No．4 2008年 10月 JournalofShenyangNormalUniversity(NaturalScience) Oct．2008 文章编号：1673—5862(2008)04—0414—04 强脉冲离子束辐照钛靶 表面凹坑形成机理研究 由 泳 一，高 明 ，张 罡。，沈新普 ，万炳男 (1．沈阳师范大学 物理科学与技术学院，辽宁 沈阳 110034； 2．新民市高级中学 物理组，辽宁 沈阳 110300； 3．沈阳理工大学 中俄联合高能束流实验室，辽宁 沈阳 110168； 4．沈阳工业大学 建筑学院，辽宁 沈阳 110023) 摘 要：计算了强脉冲离子束与钛靶相互作用的能量损失分布．H 与钛靶相互作用过程中 的能量损失在钛靶内较深处，而C 在钛靶表面沉积较多的能量．束流含离子种类不同，入射靶材 的深度及传给靶材的能量分布不同，对靶材将产生不同的作用效果．用ABAQUS有限元软件，以 单元死活表征汽化材料的体加载方式对靶材钛进行不同能量参数的强流脉冲离子束辐照热效应 的模拟计算．得到了强流脉冲离子束辐照金属表面的传热数据．通过分析，验证了模拟结果的合理 性和凹坑形成的机理． 关 键 词：强流脉冲离子束；能量分布；热效应；凹坑 中图分类号：0532 ．26；TG 156．99；TG 132．32 文献标识码：A 0 引 言 强流脉冲离子束(High—intensitypulsedionbeam—HIPIB)利用短脉冲高功率密度的离子束辐照材料 表面，在瞬间实现材料表面的高能量密度沉积，材料表面升温速率高达 10k／s～10¨k／s、冷却速度达到 10k／s～10k／s，形成表面熔化、气化和烧蚀，在材料表面产生热应力与冲击波，使材料表层各种缺陷和 密度显着增高，出现非晶等非平衡相，导致材料表面相结构、显微结构、表层硬度、耐磨性和耐蚀性等发 生变化u J．在强流脉冲离子束轰击靶材表面时，一个普遍的现象就是在靶材表面形成纳米到微米尺 寸的特殊表面熔坑形貌．目前国内外对凹坑的产生主要以粒子撞击和烧蚀理论作为解释[卜81，对凹坑 形成机理的研究还不够深人，因此，对于辐照表面凹坑的形成机理和控制因素的研究十分必要． 结合沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室从俄罗斯引进TIA一450型加速器的特点，用HIPIB对 金属钛进行改性，对能量分布及热效应进行数值研究，并对产生的凹坑进行解释． 1 能量分布 离子束与靶原子相互作用时，离子的动能将转变为热能或原子的激发能，其中热能的转换占主要部 分．离子束沉积的能量在瞬间转变成热能，由此造成的温度分布状态曲线与能量沉积分布状态相似，产 生很大的温度梯度．TIA_450型加速器产生的束流由H 和C 组成，从图1中可以看出同为200keV的 H 射程比较长，可以进入靶材表面下的较深层，而同样能量的C 则只能进人靶材的浅层．当离子源只 含有H 时，其入射到靶材的深度可达 1．2m．当离子束只由C 组成时，入射到靶材的深度可达0．32 m，如图1所示．束流含离子种类不同，入射靶材的深度及传给靶材的能量分布不同．如图2，只含H 时入射较深但表面能量低，因而其温度较低；只有C 时，入射深度较浅，但传给靶材表面能量较高．当 收稿日期：2007．12—06 基金项 目：科技部国际科技合作重点项 目(2004DFA04800)． 作者简介：由 泳 (1981一)，男，辽宁辽中人，沈阳师范大学硕士研究生，新民市高级中学教师；高 明(1964一)，男，辽宁北宁人 沈阳师范大学教授，博士，硕士生导师． 第4期 由 泳等：强脉冲离子束辐照钛靶表面凹坑形成机理研究 415 含有两种离子时，含量不同传递能量效果也不同．当离子束由两者混合组成时，能量沉积图谱由其组成 葺