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微纳米技术在工业装备中的应用研究进展
第29卷第4期 轻工祝械 v01．29No．4
2011年8月 啦M血dl璃幻r胍口曲面eIy Aug．20ll
[综述·专论]
微翁淝载恭翟亘丝装备印蛔庖阀碲家避羼
杨弱1．郑素霞2，许忠斌h
(1．浙江大学化工机械研究所，，浙江杭州3l0027；2．杭州职业技术学院化工系，浙江杭州310018)
摘要：微型化是传统的化工、材料、能源、制药等行业重要的发展方向之一。对日益发展的微纳米工业装备，从微米和
纳米技术两个层面进行分析。阐述了各种微纳米装备的研究现状、必要性、工艺性能和设备特点。从制造、集成、建模和
模拟等方面，简要论述了纳米技术在未来发展中面临的挑战。参26
关键词：微纳米技术；工业装备；设备特点；发展趋势
中图分类号：’IB383 文献标志码：A 文章编号：1005-2895(2011)04旬117J04
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