数字横向剪切干涉仪相移技术.pdfVIP

第 21卷 第 9期 光学 精密工程 Vo．【21 NO．9 2013年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sep．2013 文章编号 1004—924X(2013)09—2244—08 数字横 向剪切干涉仪相移技术 何 煦，向 阳 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033) 摘要 ：由于相移式横向剪切干涉仪相移单元 的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度 ，本文根据相移式 横向剪切干涉测试原理，设计了采用宏微复合运动模式的相移组件 ，该相移组件可在 25mm行程 内实现纳米级的相移 运动 。重点分析 了柔性铰链复合 四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律 ，计算 了铰链刚度与弱截面应力 ，并给I叶j 了具体的设计实例。采用有限元分析方法 ，对设计实例 中微动单元 的相移量与压电陶瓷 (PZT)m力之间的作用规律进 行仿真 ，并分析 了相移精度 。结果显示 ，PZT在促动力输 范 围内可促动 0．1ITlm~1nm 的一维相移运动 ，理论精度优 于 3．5nm。微动单元的开环标定测试结果表明，相移微动单元的实际精度优于 5nrfl。 关 键 词 ：光学测量 ；波像差；相移式干涉仪 ；剪切干涉仪 ；柔性铰链 中图分类号 ：TH744．3 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2244 Phase-shiftingtechnologyofdigitallateralshearinginterferometer HE Xu，XIANG Yang (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) *Cor，．s0，2 gauthor，E-mail：Y．xiang@sklao．ac．cn Abstract：Astheresolution，accuracyandotherparametersofthephase—shiftingunitinaphase—shift inglateralshearinginterferometerwilldirectlyaffectthetestaccuracy ofwavefrontaberrationfora lithographobjective，aphase—shiftingcomponentwithmacroandmicrocompoundmotionmodeswas designedbasedon theprincipleofphase—shifting testforwavefrontaberration．Itcouldachievea phase—shiftingresolutionof3nm ina25mm travelrange．Moreover。themathematicalrelationofini— tialparameterswasanalyzedforthemicrounitwithaflexurehingecompositedfourlinkagestructure． Thestiffnessandweak interfacialstressoftheflexurehingewerecalculated，and adesign example wasgiven．Thefiniteelementanalysismethodwasusedtosimulatetherelationbetweenphase—shift— ingvalueand theoutputofpiezoelectricceramic (PZT)and toanalyzethephase—shiftingaccuracy． Theresultsshow thatthePZT canactuateone—dimensionalphase—shiftingmotio