新一代全方位离子注入及增强沉积工业机.pdfVIP

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2017-07-22 发布于上海
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新一代全方位离子注入及增强沉积工业机

第期真空 6F7889 )5 年月 ## ) 新一代全方位离子注入及增强沉积工业机童洪辉陈庆川霍岩峰王珂穆莉兰冯铁民赵军严冰耿漫 + + + + + + + + 核工业西南物理研究院四川成都 + ($##)$* 摘要本文报告了核工业西南物理研究院最近研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机该机 ! , 直径高立式放置抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了控制本底真空小 ’## + $#.# + + + -- -- /01 于 %) 气体和金属等离子体可分别由热阴极放和三个高效磁过滤式金属等离子体源产生真空室顶 )2$# , , /3 部预留了法兰口并配有冷却靶台该机的负高压脉冲幅值为重复频率为脉冲上升沿 , $#45# + .#4 .## + 67 89 小于并且可根据需要产生脉冲串一般地等离子体密度为 5 $# %= 膜沉积速率为 + , $# 4 $# + :; - #$4#. @ ,文中亦报道了一些实验结果, ?- ; 关键词离子注入增强沉积等离子体源 ! A A 中图分类号! .=A )= 文献标识码! 文章编号!$##%#=##*#%##)5%#. B CD E F GHI JHGHKLMNOGNGPQRMKNLSTLUVNGHWOKMVHXSLRTLNTTHKRNOGNOG NTXSLGMLMNOGLGPHGVLGUHPPHXORNMNOG % + % + % + + % + CBYZ 8[?