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新型全柔性动镜机构的设计与分析

第41卷第l期 红外与激光工程 2012年1月 V01.41No.1 InfraredandLaser Jan.2012 Engineering 新型全柔性动镜机构的设计与分析 柳华“=,刘伟奇-,冯 睿·,魏忠伦1,张健L2 (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033; 2.中国科学院研究生院,北京100049) 摘要:在傅里叶变换光谱仪研制中,基于迈克尔逊干涉仪的动镜机构研制是技术难点之一,而柔性 铰链机构则是动镜机构的核心部分。利用简单的平行两杆机构为基体进行复杂化设计,得出一种新型 传统的平行两杆机构理论计算结果进行分析比较。结果表明,新型柔性铰链机构不仅使动镜的垂直耦 合位移量缩小到原来的1.4%,而且将动镜的运动自由度有效地降至一维,为后续研究者提供参考。 关键词:红外傅里叶变换光谱仪;动镜支撑机构;耦合位移; 柔性铰链; 有限元分析 中图分类号:TH744.1;0734文献标志码:A Novel and ofaflexible designanalysis mechanismof mirror moving Liu Jianl’2 Hual”,Liu Ruil,Wei Weiqil,Feng Zhonglunl,Zhang (1.State of Instituteof Mechanicsand Key1..aboratoryAppliedOptics,ChangchunOptics,Fine Physics, Chinese of AcademySciences,Changchun130033,China; 2.Graduate oftheChinese of University AcademySciences。Beijing100049,China) Abstract:Theresearchonthemechanismof mirrorsbasedon is moving Michelsoninterferometeroneof in whole thetechnicaldifficultiesthe research ofFourier—transform whichcase process spectrometer,in flexiblemechanismisconsideredasacritical of mirror.On component thebasisof moving parallelogram Was flexible kindof conductedandanovelflexiblemechanismWas m

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