实验04移相干涉抗振算法研究.docVIP

2015 年 春 季学期研究生课程考核 （阅读报告、研究报告） 考核科目 : 超精密光电综合实践 学生所在院（系） : 电气工程及自动化学院 学生所在学科 : 仪器科学与技术 学 生 姓 名 :郭佳豪、周梦姣、林屹立、匡也 学 号 : 14S001062 学 生 类 别 : 学术型 考核结果 阅卷人 实验四 移相干涉抗振算法研究 一、背景介绍 Shift Interferometry） 如同其它精密检测仪器一样，的性能测量精度会受到一些因素的限制，其的系统误差元包括的稳定性光学元件质量、移相器的非线性、探测器噪声和环境噪声。，移相干涉仪的测量误差很少一部分来自干涉仪本身，绝大多数误差来源于环境。。 干涉仪所受到的振动和扰动，主要是来自地面传播的振动和周围环境中气流的流动。这些振动包含各种频率和振幅,频率从几赫兹到上千赫兹不等，而各振动成份的振幅也各不相同，所以分析的时候要有所区别。振动信号对干涉仪的影响，直观地表现为干涉条纹的变化。由于振动的振幅与振动频率基本上是成反比的,因此高频振动的振幅往往很小，对干涉条纹的影响表现主要是使干涉条纹上产生毛刺,条纹的边缘变得模糊不清，条纹变宽,在灰度分布图上则表现为正弦变化的条纹上，叠加了一个高频的不规则周期性信号，而这可以通过一定的算法对其进行改善,不需要采用专门的器件去消除低频振动的振幅往往比较大，对干涉条纹的影响是使条纹变模糊，视场里会看到变宽的条纹带，干涉条纹的明暗部分会互相重叠,从而降低条纹的对比度。 对于移相式干涉仪,振动的影响最直观的表现是在测试结果波面中引入了周期性的波纹误差,其空间频率为干涉图中条纹频率的两倍。1996年，P.J.de Groot计算机模拟了振动存在时，移相干涉仪的均方根误差1]，如图。可以看出2]：振动频率增大时，引起的误差下降很快。 得到的振动频率与测量误差的关系 抗振算法 技术 2.1、自适应主动抗震技术 (1)机械式位相调制法 机电反馈式干涉仪包含两个基本部分，如图2所示。1)用探测器探测外界震动引起的条纹移动或者强度变化，即探测振动信号；2)对振动信号进行处理，转换成与振动信号成比例的电压信号，反馈到PZT驱动电源，驱动PZT进行补偿。A .A Freschi提出的基于光学高频相位调制和锁相技术的抗干扰干涉法[3]为其早期的代表。该系统中由光电探测器接收经过调制的干涉信号，经反馈信号发生器(FBSG)中的基频、倍频滤波和同步检波得到的PZT反馈控制信号，这个信号与被测波前相位及预设相位有关，当有振动存在时，被测相位偏离预设相位值，PZT控制器输出反馈控制信号，调整两相干光束之间的光程差，使得被测波前相位与预设相位相等，从而锁定了干涉条。这类方法的缺点在于机械式PZT的位相调制技术使得调制频率受到限制，而且为了不降低干涉条纹的对比度。一般调制深度适当降低，故光电探测器的信噪比较低，影响测量精度。 (2)光波频率法 自适应补偿[4]，这个系统只能用于长光程差不等程干涉，另外，由于一级衍射光的强度随AOM出射频率的变化而变化，因此需要对光强进行实时校正。 图2 机械式位相法振动补偿干涉仪 [5]也为采用声光调制器的抗振系统，该系统将振动探测光路和移相测量光路分离，从而改善了系统的信噪比、提高了干涉图样的对比度。 (3)电光晶体调制补偿法 6]。该系统已经用于NASA航天中心的大型天文望远镜低温主镜面的测试。这类方法的缺点在于纵向电光调制器虽然结构简单、工作稳定、不存在自然双折射，但是半波电压非常高，特别是在高频调治时功率损耗比较大；KDP类晶体横向电光调制器虽然半波电压低一点，但是却受自然双折射现象的影响，假如将两者配合相互补偿，将使得结构很复杂，同时电光晶体的特性还会随着温度的变化而变化。 2.2、被动技术的研究 (1) Phase Shift Technology公司的Koliopoulos于1991年提出采用同步移相干涉术[7]。这是一种从移相干涉图采集的角度提出的抗振技术，利用偏振分光和移相薄膜技术于空间不同位置同时获得相互移相的四幅干涉图，并由四个相同的CCD同步采集四帧移相干涉图，实现同步移相干涉测量，如图3所示。该系统对光学及电子器件的要求极为严格，导致了系统的价格十分昂贵，系统的控制也较为复杂。 图3 同步移相干涉仪的光学结构 8]。根据这些关键技术开发的同步移相干涉仪如图4所示。采用一个全息器件把正交偏振的参考光和测试光合并后的光束分成四束独立的光束，这四束光通过一个双折射掩膜板后，每束光中测试光和参考光的相位偏差分别为0°，90°，180°和270°。再将一个透射方向与参考光和测试光的偏振方向成45°的检偏器放置在CCD摄像机的前面，这样