基于微小电极的气中电火花加工试验研究.PDF

第３１卷 第５期 世界科技研究与发展 Ｖｏｌ．３１ Ｎｏ．５ 　 　 ２００９年１０月 ８４８－８５１页 ＷＯＲＬＤＳＣＩＴＥＣＨＲ＆Ｄ Ｏｃｔ．２００９ ｐｐ．８４８－８５１ 基于微小电极的气中电火花加工试验研究 １ ２ １ １ １ １ 李立青 　郭艳玲 　邓宇峰 　郝继鹏 　王海峰 　何　望 （１．哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨 １５０００１；２．东北林业大学机电工程学院，哈尔滨 １５００４０） 摘　要：为了解微小尺度电极的气中电火花加工性能，为进一步的气中微细电火花加工的深入研究进行必要的基础研究，本文在 自行研制的加工装置上对气中小尺度电极的电火花加工工艺性能进行了研究。首先采用单因素法考察了微小尺度电极的气中电 火花加工规律，并进行了正交试验研究，对实验现象进行了分析；最后进行了三维结构的电火花铣削加工试验。实验结果表明，在 一定的试验条件下，气中微小尺度电极电火花加工速度随着脉冲能量的增加而增加。在伺服条件不变的情况下，峰值电流和脉冲 宽度是影响气中小尺度电极电火花加工速度及电极损耗的主要因素。实现了微小尺度电极的三维结构的加工，并在硅片上加工 出了ＥＤＭ字样。试验验证了进行气中微小电极电火花的可行性。 关键词：微小电极；气中电火花加工；加工性能 中图分类号：ＴＧ６６１　　　文献标识码：Ａ　　　  ＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＤｒｙＥＤＭＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｓｉｎｇＳｍａｌｌＥｌｅｃｔｒｏｄｅ １ ２ １ １ １ １ ＬＩＬｉｑｉｎｇ　ＧＵＯＹａｎｌｉｎｇ　ＤＥＮＧＹｕｆｅｎｇ　ＨＡＯＪｉｐｅｎｇ　ＷＡＮＧＨａｉｆｅｎｇ　ＨＥＷａｎｇ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮｏｒｔｈｅａｓｔＦｏｒｅｓｔｒｙＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５００４０） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｏｆｓｍａｌｌｄｉｍｅｎｓｉｏｎｔｏｏｌｅｌｅｃｔｒｏｄｅｉｎｔｈｅｄｒｙｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｄｉｓｃｈａｒｇｅｍａｃｈｉｎｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ｄｒｙＥＤＭ） ｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｍａｃｈｉｎｉｎｇｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓｅｌｆｄｅｓｉｇｎｅｄ，ａｎｄｔｈｅａｉｍｏｆｔｈｅｓｔｕｄｙｉｓｔｏｆｉｎｄｏｕｔｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｏｆｔｈｅｓｍａｌｌ ｄｉｍｅｎｓｉｏｎｔｏｏｌｅｌｅｃｔｒｏｄｅｉｎｄｒｙＥＤＭａｎｄｍａｋｅｎｅｃｅｓｓａｒｙｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｒｅｓｅａｒｃｈｏｆｔｈｅｄｒｙｍｉｃｒｏＥＤＭ．ＴｈｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｒｕｌｅｓｏｆｔｈｅｄｒｙＥＤＭ ｗｉｔｈｔｈｅｓｍａｌｌｔｏｏｌｅｌｅｃｔｒｏｄｅｗｅｒｅｆｉｒｓｔｌｙｓｔｕｄｉｅｄｕｓｉｎｇｓｉｎｇｌｅ－ｆａｃｔｏｒｍｅｔｈｏｄ．Ｓｅｃｏｎｄｌｙ，ｔｈｅｏｒｔｈｏｇｏｎａｌｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔ，ａｎｄｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｐｈｅｎｏｍｅｎａｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ＥＤＭＭｉｌｌｉｎｇｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｗｅｒｅｐｅｒｆｏｒｍ