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在电子产品生产中静电产生及防护【摘要】 本文阐述了静电的产生、静电的特点、静电在电子产品生产过程中对电子元器件的威胁以及在静电保护区域内释放静电的途径，按照国际电工协会测量相关防护用品的数据范围。 [关键词] ESD；静电防护；电子器件保护 中图分类号：G357.4 文献标识码：A 随着集成电路技术的迅速发展，生产规模的扩大和集成化程度的提高，静电（ESD）的危害越来越严重地影响到电子产品的质量和性能。静电损伤具有隐蔽性，据统计资料表明，受静电损伤的半导体中，仅有10%的产品可以由于完全失效而被检测出外，其余90%均不能被当时发现，但受静电损伤的电子器件从工作的稳定性和使用寿命上都有明显的下降，如手机会表现为经常出现死机、自动关机、语音质量差、信号时好时坏等现象。由于ESD的影响，在美国和英国，每年都会有几十亿元的损失，而在日本不合格的电子器件中有45%是由静电引起。由此可见，ESD对电子产品生产过程的重要性。 名词解释： ESD：代表英文Electrostatic Discharge,即”静电放电”的意思。 EPA：代表英文Electrostatic Protection Area,即”静电防护区域”的意思。 静电的产生及危害 1. 静电产生的方式 静电是一种客观的自然现象，产生的方式多种，其主要方式为： 1.1一个带静电的物体接触另一个物体 1.2两种不同材质的物体相互摩擦或粘连在一起的两个不同材质的物体分离 1.3一个带静电的物体接近另一个物体等 2. 静电的特点 2.1高电压 人在活动的过程中，不可避免与其它物质接触，这个接触过程就会产生静电。 带电的方式服装上静电压（V） 穿皮鞋在普通水泥地面上行走(通常速度) l200~1500 穿塑料拖鞋在普通水泥地面上行走(通常速度) 2500~2600 在合成橡胶工作台面上伏案工作 750~2000 在人造革软椅上轻微晃动 1500~2800 在人造革软椅上滑移 1500~2800 从坐椅上突然站起 3800~4500 将外衣脱下 5000~7000 表2.1人体与其它材料接触时产生的静电电压 2.2 低电量 静电流多为微安级（尖端放电除外） 2.3 作用时间短 微秒级 2.4 受环境影响大 特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电压下降。 静电的产生 静电电压 10%RH 40%RH 55%RH 人在地毯上行走 35000 15000 7500 人在塑料地板上行走 12000 5000 3000 坐在椅子上的人 12000 5000 3000 从包装箱上拿出泡沫 26000 20000 7000 无接地措施时人体的运动 6000 800 400 表2.2一般现象的静电值 3静电对电子产品的危害 3.1吸附尘埃 静电具有吸附性，可以吸附空气中的尘埃，尤其对几~几十微米的尘埃吸附作用十分明显。这种特性对微电子生产企业影响很大，因为在现代大规模集成电路（LSI)生产中，芯片的线宽已达到0.1微米，如果一颗直径几微米尘埃被吸附到芯片上，即可造成几十根芯线之间的绝缘强度降低，从而造成短路，使芯片损坏。 3.2静电放电 静电放电可使集成电路芯片介质击穿，芯线熔断，漏电流增大加速老化，电性能参数改变等等。静电放电对芯片损坏具有潜在性和缓慢失效性，这种情况危害性较大。 器件类型 实例 静电敏感度（单位kV） MODFET 3CD、3DO系列 0.1-0.2 CMOS C000、CD400系列 0.25-2.0 S-TTL 54S、74S系列 0.38-7.0 表3.1一些器件的静电敏感度 3.3静电感应 静电感应不但具有静电放电的危害性，还会使元器件形成静电脉冲从而造成元器件的参数改变，甚至使栅极烧毁损坏 4. 静电防护 通过表2.1中静电电压和表3.1中电子器件耐压参数比较，我们不难发现静电对电子器件的危害是非常大，如果不加以防治，将会对产品质量产生极大威胁。在很多操作过程中，不产生静电是不可能的，关键在于如何对静电积累加以限制和采取有效措施使静电泄漏(耗散)。针对静电产生和危害，我们可以从以下几方面入手： 4.1、接地 将各种操作运行过程中产生的静电迅速接地是防止静电危害行之有效的方法。接地是在电子产品生产过程中释放静电的最主要的方法。通过导体将人体和设备上积累的静电电荷释放到大地，从而减少对电子器件的影响，提高产品质量。 4.1.1 人体接地 人体接地包