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研究·分析·实验
(FeCo/CoNbZr)n 多层软磁薄膜的结构与磁性能
曾孝勤，蒋向东，胡 琳，张怀武
（电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都 610054 ）
摘 要：利用磁控溅射制备纳米晶单轴各向异性(FeCo/CoNbZr)n 多层软磁薄膜，通过 CoNbZr 层的加入来
细化FeCo 颗粒。这种组合而成的多层膜矫顽力低，单轴各向异性明显，各向异性等效场 Hk 高，热稳定性优良，
非常适合应用于超高密度磁记录头。
关键词：(FeCo/CoNbZr)n 纳米晶；多层软磁薄膜；磁控溅射；磁性能；微结构
中图分类号：TM274; O484.4+3 文献标识码：A 文章编号：1001-3830(2006)06-0036-03
Microstructure and Magnetic Properties of (FeCo/CoNbZr)n
Soft Magnetic Multilayer Films
ZENG Xiao-qin, JIANG Xiang-dong, HU Lin, ZHANG Huai-wu
School of Microelectronics and Solid-State Electronics,University of Electronic
Science and Technology of China, Chengdu 610054, China
Abstract: Nanocrystalline (FeCo/CoNbZr)n uniaxial-anisotropy soft magnetic multilayers were prepared by
magnetron sputtering. CoNbZr amorphous layers act as grain refiners as well as soft magnetic grain-boundary materials
for the FeCo layers. The resultant multilayer films exhibit excellent uniaxial-anisotropy soft magnetic properties with
low coercivity and high anisotropy field H , which are very attractive for applications in thin-film heads for
k
ultrahigh-density magnetic recording.
Key words: (FeCo/CoNbZr)n nanocrystalline; soft magnetic multilayer film; magnetron sputtering;
magnetic property; microstructure
术。即采用溅射、真空蒸镀或分子束外延等薄膜
1 引言
生长工艺，按照人为预想设计周期交替地沉积一
近年来随着磁记录密度的急速增高和磁性薄 定厚度的多层膜，在薄膜生长过程中抑制晶粒生
膜感应器的日益小型化、高性能化的发展，硬盘记 长，整体形成纳米级结晶体，从而得到很多奇异
录头和薄膜感应器等磁性器件市场对高饱和磁通 1986 年德国科学家 Grunberg 和 Majkrgak
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