奈米压痕技术与应用.PDF

奈米壓痕技術與應用 張瑞慶 聖約翰科技大學機械系 教授 摘要 就奈米尺度的微小結構而言，不論是各種的微機電系統、以化學氣相沉積所製成的 各種結構、以物理蒸鍍、或是濺鍍所製成的薄膜等，奈米壓痕技術提供了有效量測機械 性質的方法。本文簡介奈米壓痕技術，包括基本原理介紹、實驗數據分析、實驗必須注 意的校正工作、以及討論影響實驗準確性的各種因素。其次介紹奈米壓痕的進階應用， 包括如何利用刮痕技術來量測磨耗性質、以機械動態法分析材料的黏彈性質、如何應用 奈米壓痕技術量測破裂韌性、連續勁度量測技術、溫度控制模組、以及各種探針的介紹 等。最後列出兩種較具代表性奈米壓痕儀的使用者名單，以供參考。 ㄧ.前言 微小化為廿一世紀的科技主流，其中奈米技術 (nanotechnology)已成為學術界及產業 界新寵，各到廣泛的重視。奈米技術可應用於分子電子學、生物化學、觸媒、基因組與 醫學、有機化學、高分子化學、物理化學及感應器等領域，全球奈米材料市場涵蓋電子、 磁學及光電，生醫、醫藥及化妝品、能源、觸媒及結構體，以目前的發展估算，在未來 的十年內將帶來百億美元以上的商機。 不過科學家早在一世紀前就漸漸進入奈米尺度的世界，許多的應用已相當成熟，如 膠囊和輪胎的製造等。直到今日，半導體製程早已突破奈米尺度，而應用於醫藥及新能 源的奈米技術，也不斷被提出，例如奈米碳管、燃料電池的儲氫材料、高效率照明元件、 太陽能電池，奈米磁鐵，奈米光觸媒等，都是各研究機構的重點項目。 奈米技術實際上並無統一的定義，一般說法係指物質在奈米尺寸下呈現出有別於巨 觀尺度下的物理、化學或生物特性與現象。所謂奈米科技便是運用這方面的知識，在奈 米尺寸等級的微小世界中操作、控制原子或分子組合成新的奈米尺度結構，以便展現新 的機能與特性。以此為基礎，設計、製作、組裝成新的奈米材料、器具或系統，產生全 新功能，並加以利用的技術總稱。奈米技術的最終目標是依照需求，透過控制原子、分 子在奈米尺度上表現出來的嶄新特性，加以組合並製造出具有特定功能的產品。而材料 尺度由微米到奈米所代表的意義並不只是尺寸的縮小，同時，新而獨特的物質特性亦隨 之出現。在奈米的領域下，許多物質的現象都將改變，例如材料使用減少、表面積增高、 表面曲度變大、熱導度或導電性也明顯變高等等，因此也就衍生了許多新的應用。 至於奈米結構的機械性質試驗，不論是各種的微機電系統、以化學氣相沉積所製成 的各種結構、以物理蒸鍍或是 濺鍍所製成的薄膜等，都需要量測出各種結構的機械性 質，以作為製程的參考，奈米壓痕技術提供了有效的量測方法。 壓痕法因為使用的方便和快速，已成為最常用來量測材料機械性質的技術，在本世 紀初，壓痕法首先由 Brinell提出，其利用軸承的鋼珠作為壓痕儀來量測材料的塑性性質 [1,2] ，勃氏試驗(Brinell test)很快被工業界引用，並且快速應用於各種巨觀和微觀的壓痕 試驗 [3] 。傳統壓痕試驗必須以光學方式量測壓痕的尺寸，使得壓痕法在尺度上有所限 1 制。近 20 年來，由於力量控制和精密位移量測的快速發展，在新近的系統中，力量已 經可以控制到奈牛頓(nN) ，且位移也可以精密量測到0.1奈米(nm) ，也促使壓痕試驗進 入到奈米尺度。 二.基本原理 壓痕試驗可以說是測試材料機械性質最常見的方法，其基本作法是用堅硬的探針以 一定的力量壓入試片表面，當力量釋放及探針移去後，會在試片表面形成壓痕，量測壓 痕的面積，將壓痕力量除以壓痕面積即一般所定義的硬度。 奈米壓痕法即根據傳統壓痕試驗而來，基本上，只要探針夠尖銳，並以精確的力量 壓入試片表面，理論上可以做到任意小的尺寸，唯一的問題就是如何正確地量測出殘留 的壓痕面積了。一個解決方法是利用高倍率的顯微鏡來進行量測，但效果不好，主要原 因是不容易在試片表面找到殘留的壓痕。另一種方法是以壓痕深度來換算壓痕面積，因 為探針的形狀已知，只要知道探針壓入試片表面的深度，即可換算成壓痕面積，也就是 只要有很精確的壓痕深度感測裝置，即可進行奈米壓痕試驗了。 以壓痕法來量測材料機械性質的理論基礎