奈米压痕试验组员-Mipaper.PDF

奈米壓痕試驗 組員： 鄭淑君、戴正一、林異文、王玉琪 一、前言： 壓痕法因為使用的方便和快速，已成為最常用來量測材料機械性質的技術， 在本世紀初，壓痕法首先由Brinell 提出，其利用軸承的鋼珠作為壓痕儀來量測材 料的塑性性質，勃氏試驗(Brinell test)很快被工業界引用，並且快速應用於各種巨 觀和微觀的壓痕試驗。 傳統壓痕試驗必須以光學方式量測壓痕的尺寸，使得壓痕法在尺度上有所限 制。近20 年來，由於力量控制和精密位移量測的快速發展，在新近的系統中， 力量已經可以控制到奈牛頓(nN) ，且位移也可以精密量測到0.1 奈米(nm) ，也促 使壓痕試驗進入到奈米尺度。 二、原理： 薄膜厚度減小至奈米尺度時，其機械性質強烈地受薄膜厚度、加工受力影響 深度、荷重及基材的硬度所影響。因此，欲得到材料的真實硬度值及楊氏係數並 不容易，尤其對於複合材料，如微小晶粒組成之材料合金等而言，不過，傳統的 硬度量測必須使用較大的荷重，造成較深的壓痕，對於微觀的力學特性研究則無 法適用，因此，對奈米尺度力學特性研究，奈米壓痕量測是常用技術之一。 在量測基本原理上Oliver 及Pharr Theory於1992提出，其理論為常被使用來分 析奈米壓痕量測。其原理是利用一支鑽石壓痕器壓入試件，藉由偵測連續的荷重 及位移曲線（Loaddisplacement curve ），其硬度及楊氏係數即可由此曲線來決 Continuous stiffness measurement (連續剛性量測) ：在壓痕的過程中，給予固定頻率 的振動負載。它的特性在於可連續測量無負載斜率、一次負載實驗中可連續測量 不同深度的硬度或楊氏係數、可量測特殊材料（如黏彈性體）的機械性質。 它的原理可以等同於彈簧負載做簡諧運動。 在加載過程中，載重P 增加一微小擾動力F(t) 。F(t) 的形式為簡諧振動 F t F eit (harmonic) ，也就是   0 （1） F 其中ω 為頻率， 為振幅。假設因擾動力F(t) 產生探針之位移改變量為z(t) ， 0 則整個系統之振動方程式如下 mz Dz Kz F t (2)   其中m 為探針質量，K 代表整個系統之有效勁度與側撐勁度Ks 、接觸勁度S 及 支架勁度 之關係如下： K f 1 K S 1 K f1  Ks (3) D代表整個系統之有效阻尼係數為材料阻尼DS 與電容位移計Di 的總和 D=Ds+Di (4) 式(17)之解答z 應具有下列形式 i t   z t z e (5)   0 F0 2 2 2 其中 z0 滿足 (K m ) (D) (6) z 0 D φ 為相位差，滿足tan 2 (7) K m 因此利用(6)(7)(3)可知接觸勁度S 為  1  1 1  S 