磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试摩擦学学报.PDF

第 20 卷　第 3 期 摩 擦 学 学 报 20, 　 3 V o l N o 2000 年 6 月 TR IBOL O GY J un , 2000 磁控溅射 T iN 界面结合强度的压痕法测试 1 2 2 韦习成 , 李　健 , 袁成清 ( 1. 上海大学 材料学院, 上海, 200072; 　2. 武汉材料保护研究所, 湖北 武汉, 430030) 摘要: 在试验的基础上提出了测量 T iN 涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式, 作为应用实例测量 了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的 T iN 涂层界面结合强度的影响. 将测量结果与其它测量方法所得结果进行 了比较, 证明提出的方法切实可行. 关键词: T iN ; 结合强度; 赫兹接触 中图分类号: T G 113. 25 文章标识码: A 文章编号: (2000) ( ) ) 　　物理气相沉积 PV D 涂层可以显著改善被处理 的加载时间一致 , 在金相显微镜下放大 100 倍观察 工件的耐磨性[ 1～ 3 ] , 其中磁控溅射沉积 T iN 涂层因沉 压痕并在 400 倍下检查压痕周围有无涂层剥落或形 积过程中基体温度低, 表面粗糙度小而成为典型的摩 成环状裂纹. 随着载荷增大, 压痕由小变大, 当载荷大 [4 ] 擦学涂层 . 但是与其它 PV D 涂层一样其质量受许 于临界载荷后, 在圆形压痕周围出现放射状环形裂 多因素制约, 其中涂层与基体的界面结合强度是最重 纹. 而且环状裂纹直径随载荷的继续增加而增大, 其 要的因素之一. 涂层与基体的界面结合强度直接影响 总体变化趋势如图 1 所示. 涂层的实际使用效果和被处理工件的工作可靠性, 因 此快捷地测定涂层界面结合强度尤为重要, 其测量结 果可直接用于指导涂层工艺参数的优化、基体材料物 [4～ 8 ] 理性能的选定及各参数的匹配等 . 本文通过对国内外现行的一些试验方法的分析, 基于球和平面的弹性赫兹接触应力理论, 采用压痕法 对磁控溅射 T iN 涂层与基体的界面结合强度进行了 测试, 对该方法的可行性进行了初步探讨, 并和其它 方法进行了比较. 1　界面结合强度测试方法 1　 F ig V ar iat ion o f in den tat ion d iam eter w ith lo ad 图 1　压痕随静压载荷的变化示意图 测试涂层结合强度的方法很多, 主要可分为力学 和非力学方法 2 大类. 前者包括直接剥离法、激光剥 在显微镜下读取压痕直径和环形裂纹直径以及 离法、压痕法、划痕法、拉伸法、弯曲展开法、磨耗法及 临界载