磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试摩擦学学报.PDF

第 20 卷　第 3 期 摩 擦 学 学 报 20, 　 3 V o l N o 2000 年 6 月 TR IBOL O GY J un , 2000 磁控溅射 T iN 界面结合强度的压痕法测试 1 2 2 韦习成 , 李　健 , 袁成清 ( 1. 上海大学 材料学院, 上海, 200072; 　2. 武汉材料保护研究所, 湖北 武汉, 430030) 摘要: 在试验的基础上提出了测量 T iN 涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式, 作为应用实例测量 了不同基体表面粗糙度