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SOI技术及其设备 SOI Technology and its Equipment.pdfVIP

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  • 2017-08-12 发布于上海
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SOI技术及其设备 SOI Technology and its Equipment.pdf

    SOI技术及其设备 SOI Technology and its Equipment

    SOI技术及其设备 翁寿讼 (无锡市罗特电子公司，江苏无锡214001) 摘 要：介绍了s0I技术的特点和制造方法、超薄sOI技术，应变硅s0I技术及其设备，如大 束流专用氧离子注入机。 关键词：sOI技术；超薄s0I；应变硅s0I；大柬流；专用氧离子注入机 中图分类号：TN305．3文献标识码：A S01 andits Technology Equipment WANG Shou-song LuoTe (Wuxi Electronic，Ltd，Wuxi214001，China) Abstract：Inthis characteristicsa

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