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倒装再分布技术及应用 redistribution technology of flip chip and its application

第9卷,第12期 电子与封装 总第80期 V01.9。No.12 2009年12月 ELECTRONICSPACKAGING 薹,,71毫;g;t萄,‘囊:×if穆7,,,t童童: 倒装再分布技术及应用 任春岭,高娜燕,丁荣峥 (无锡中微高科电子有限公司,江苏无锡214035) 摘要:随着半导体技术的发展,封装工艺与圆片工艺的联系越来越密切,特别是倒装技术的发 展及广泛应用。由CSP到WL—CSP,再到TSV技术,封装技术的发展越来越迅速。倒装技术是发展 的关键技术,它包括再分布技术、凸点底层金属(UBM)技术、凸点制备技术、倒扣焊接技术和 底部填充技术等。文章介绍了传统芯片通过再分布设计及工艺解决实现倒装工艺,为倒装技术以 及新技术的开发和应用提供了良好的途径和广阔的空间。 关键词:倒装芯片;再分布技术;UBM;凸点制备技术;底部填充 中图分类号:TN305.94 文献标识码:A Redistributionof andIts TechnologyFlip Application Chip PEN Chun-hng,GAONa-yan,DINGRong—zheng Co.工以,Wuxi214035,Ch/na) (WuxiZhongweiHigh—techElectronics of andwafer Abstract:Withthe of relation developmentFlipchiptechnology.thepackagingtechnology areso hasbeen and CSPto technologyclose.EspeciallyFlipchiptechnologydevelopedwidelyapplied.From TSV ofElectrical isSO tech- WL-CSP,until technology,thedevelopmentpackagingtechnologyrapid.Thekey arethatredistribution ofFliptechnology technology,underbump nologieschip andundertill this isdiscussed technology,reflowtechnology technology.Inpaper,redistributiontechnology traditionalcan with redistribution well that by chip applyFlipchiptechnology technology,whichprovide and to

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