一种基于恒光程的二维小角度测量系统.pdfVIP

第25卷第5期 湖北工业 大学学报 2010牟10月 ofHubei of Oct．2010 VOI．25No．5 Journal UniversityTechnology [文章编号]1003--4684(2010)05—0020—03 一种基于恒光程的二维小角度测量系统 于永志1，龚发云1’2，王选择1’3 (1湖北工业大学机械工程学院，湖北武汉430068} [摘 要]大多数光电自准直仪在非恒光程的精密测量中，光电接收器件所接收到的光斑形状随接收位置的变化而 变化。导致信号接收误差，设计了一种新型的光路系统，以保持激光束光路的光程恒定，使接收光斑形状的稳定．采 用这种系统实现二维小角度的测量，可实现对阿贝误差的实时动态补偿． [关键词]恒光程；光斑形状；二维小角度；阿贝误差；实时动态补偿 [中图分类号]TH741．2 [文献标识码]：A 二维小角度的测量目前主要采用自准直法，但 物镜后其光斑成像在光电接收器件的光敏面上．此 这种方法采用的光路系统大部分为变光程结构(图 系统核心部分由两个相对位置保持不变的直角棱镜 1)．即在测量过程中，随着被测物的左右移动，反射 组成，并由专门夹具装夹在一起，这里本文称之为误 镜和接收器件间的光程是变化的，又由于激光发散 差敏感单元．误差敏感单元安装在被测物体上，随被 角的影响，造成远近光束直径发生变化，进而导致了 测物体同步运动．激光器和光电接受器件分别固定 传统的自准直精度受光斑形状、光斑质量密度等因 于误差敏感单元的两侧，其间距离保持恒定，因此在 素的影响很大．本文设计了一种新型的光路系统，该 测量过程中，光从激光器发出到被接收，系统光路的 系统保持光路的光程恒定，避免激光发散角的影响， 光程是恒定的． 并使用高灵敏度的光电接受器件作为检测元件，相 比于传统的测量系统，在测量精度及稳定性方面有 了很大提高． E了接受器件 d透镜 1一半导体激光器；2一直角棱镜；3一直角棱镜； 睁耸蔓窗…曰 4一准直物镜；5一光电接收器件 被测物体 分光棱镜 图2恒光程系统原理示意图 ‘：=：===o’ 图1传统自准直系统原理图 两个棱镜的空间位置布置如图3所示，直角面 A。C。F。D。和AzczF2Dz互相平行，面A，B。Cl与面 1恒光程光路系统 边A。C。的中点．保证光束经四次反射后能继续沿着 1．1 恒光程光路系统原理 初始光线的方向顺利被光电接收器件接收． 笔者结合自准直系统的研究，设计了如图2所 根据图2建立空间直角坐标系．为了简化计算， 示恒定光程的光路系统‘¨．整个系统只有一条光路， 假设棱镜组在坐标空间中是固定不动的，让基准光 光电接收器件位于准直物镜的焦平面上，由半导体 线，即初始入射光线分别绕z轴和Z轴逆时针旋转 激光器发出的准直光线经两个棱镜反射，通过准直 一