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谈谈电子显微镜的接地 V1.1 FEI （上海）张承青 众所周知电器设备都需要安全接地保护。各种设备的外壳或外露金属部分， 都要与大地直接连接，以保证在万一短路漏电时，还能够使外壳或外露金属部分 的电压保持在人体能够容忍的范围内 （我国规定安全电压为24V），确保人身安 全。 电子显微镜也不例外，同样需要安全接地保护，万一系统发生漏电时提供一 个泄放回路，确保操作人员或维修人员的人身安全。不过另外还有一个特殊的地 方就是，电子显微镜的地线同时还是电子显微镜内各个分系统（如探测器、信号 处理放大、电子束控制等等）的共同“零电位”端，必须保持电压稳定在“零”。 通常，我们认为地线端是一个电压为零的参照点，但是实际上，当地线回路 上存在电流时（这个电流通常称为漏电流或接地电流，由各用电设备分别产生， 其大小为各漏电电流的矢量和），在这个地线回路上的任何一个接地端都有接地 电压存在（因为任何地线的接地电阻 R 尽管很小但不可能为零，根据欧姆定律 V=IR，接地电压V 在漏电电流 I 不为零的情况下不会为0），尽管这个接地电压 很小以至于我们时常忽略它。但在电子显微镜系统里，这个接地电压使得“零电 位”端的电压不能稳定在“零”，这样就会使得电子显微镜不能保持在最好的工 作状态下。 因为总漏电电流不可能为恒定值，所以接地电压的大小是无规则变化的。即 便是一般认为小到微不足道的接地电压，对于经常需要把图像放大几万到一百多 万倍的电子显微镜来说，所产生的影响也往往是不可忽视的。 解决这个问题的方法很简单，就是专门为电子显微镜设置一个单独的接地回 路，我们称之为“独立地线 （single earth loop）”。这样就排除了同一供电回 路中其它用电设备的漏电流对电子显微镜的干扰。注意，必须从接地体到接地线 到接地端子都是独立且不与任何导电体相连接的，这样才能保证该地线的完全独 立。必须防止以下两种常见的错误：1）没有埋设完全独立的接地体，只是单独 布放一根地线联接到公共接地体；2）虽然有单独的接地体但是接地线或接地端 子与公共地线或其它用电设备相联接。 由于电子显微镜不会有很长时间或者很大的漏电电流，所以对独立地线的接 地电阻要求不高，一般各家厂商都只是要求在4～10 欧姆即可。 地线制作一般有“深井式”和“浅坑式”两种（参见图一和图二）。 深井式制作（参考）： 1．钻深孔：直径约50～100 毫米，深度约为3～20 米，达到到潮湿土层即 可。 2 ．接地体：铜管壁厚2 毫米 （铜棒亦可）直径约30 毫米、长约0.5 米，由 接地线焊牢（三点以上）引出到电子显微镜附近。 3 ．接地线：4～10 平方毫米橡胶或塑料多股铜芯线。 4 ．降阻剂：盐、小块木炭各约2～3 公斤。 5 ．施工工艺：将接地体吊放到孔的底部，准备一细长工具（钢筋、水管等）， 将逐渐放入的降阻剂由下而上地捣实，然后继续回填捣紧，特别注意在接地体周 围一定要捣实捣紧，同时注意不要把接地线碰断。 图一 深井式示意图 浅坑式制作（参考）： 1．挖浅坑：深度约为0.5～2 米，达到潮湿土层即可。 2 ．接地体：铜板约0.5 ×0.5 米，厚度2～3 毫米，由接地线焊牢（三点以上） 引出到电子显微镜附近。 3 ．接地线：4～10 平方毫米橡胶或塑料多股铜芯线。 4 ．降阻剂：盐、小块木炭各约2.5～5 公斤。 5 ．施工工艺：将铜板垂直放到坑的底部，周围先以降阻剂覆盖，并捣实捣 紧，然后回填捣紧，注意不要把接地线碰断。 图二 浅坑式示意图 “深井式”适合地面难以开挖或地下水位很深的某些地方。比较而言，“浅 坑式”是更为常见的做法。无论是 “深井式”或是 “浅坑式”，按照此工艺施工， 接地电阻都可以达到4～10 欧姆 （单接地体）。 在土壤电阻很大的地方，为降低接地阻抗，还可以用两到三个接地体构成一 个小型接地系统，此时各接地体间距0.3～0.5 米即可 （深井式可以使用同一钻 孔）。因为不会有“跨步电压”的危险,所以不需要参照格栅式地线网的做法。同 时为减少附近地下其它导体的影响，此小型接地系统也应尽量少占用地下面积。 为防止意外短路，接地线进入室内后