飞秒雷射光力学效应诱发高等材料改质与精密退火制程之研究.pdf

行 雷 力料 精 精 類 行 年年 行 立 參理呂 理 理 利 年 年 飛秒雷射光力學效應誘發高 等材料改質與精密退火製程之研究 黃培興 國立屏東科技大學機械工程學系 計畫編號： NSC 98-2218-E-020-004 一、中文摘要 本研究以結合連體-原子之混合模擬技術，探討短脈衝雷射之光力學效應誘生奈米缺陷結 構改質製程之特殊現象，並觀測非晶質材料及結構缺陷經短脈衝雷射照射後表面形貌變化與 內部結構活化改質之定性研究，計畫第一個部份提出一個混合「有限差分連體模型」與「離 散分子動力學」的模擬方法，以半隱式 Crank-Nicholson數值技術來求解兩階段電子 聲子- (electric-phnon)非穩態加熱過程，並結合嵌入式原子法（EAM ）之分子動力模型進行連體-原 子之混合模擬，配合量化滑移向量演算法（slip-vector algorithms ）進行異質差排成核、成長 與傳播之特性分析，研究飛秒雷射在固態奈米缺陷修補與結構改質製程中原子等級之暫態現 象與塑性變形，其次經由熱力行為之演化、能量與微觀結構變態關係之分析，探討脈衝雷射 入射條件對被照射靶材之影響與表面硬化機制之描述，過程中再輔以微觀之機械與物理性質 量測，進行理論模擬與實驗驗證之定性分析，最後提出提昇製程技術與改善之建議，並進一 步的將結果嵌入於各種機能材料(如矽晶、軟性基板等)之精密改質，十分有助於複雜的精微 機電元件之成型製程參數設計。 關鍵詞 :飛秒雷射、 光力學效應、連體-原子混合模擬方法 Abstract This study proposes a modified continuum-atomistic modeling approach for investigations of exordinary phenomena of femtosecond laser induced structural refinements. The first, we use a hybrid simulation method combined finit-dfference model and molecular dynamics. The approach is a near multi-scales simulation which solves a nonequilibrium two-steps heating process via a semi-implicit Crank-Nicholson numerical scheme, and then embeds in molecular dynamics of EAM atomistic potential. Moreover, the heterogeneous nucleation, propagation, and growth of dislocations are also depicted via quantitative dislocation analyses in order to the analyses of laser-induced solid-state structural transition and plastic deformation in an atomistic scale. The n