长周期光纤光栅气敏薄膜传感器结构优化3.PDF

第 26 卷 　第 3 期 光 　学 　学 　报 Vol . 26 ,No . 3 2006 年 3 月 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　 　 　　March , 2006 A C TA O P T ICA SIN ICA 文章编号 :(2006) 0303265 长周期光纤光栅气敏薄膜传感器结构优化 1 1 1 2 徐艳平 　顾铮 　陈家璧 　高 　侃 1 上海理工大学光电功能薄膜实验室 , 上海 200093 2 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室 , 上海 20 1800 摘要 : 　基于三包层长周期光纤光栅模型 ,研究了包层表面涂覆一层溶胶 凝胶气敏薄膜的长周期光纤光栅化学传 ( ) ( ) 感器的灵敏度 S n 与薄膜光学参量 折射率 n3 和厚度 h3 和光纤光栅结构参量 光栅周期 、折变量和光栅长度 之间 的关系 。采用最优化数值方法, 找到了获得高灵敏度所需的最佳膜层光学参量和光栅结构参量 。理论计算表明, 该类型传感器对膜层折射率的测量分辨率高达 10 - 8 。实验上制作了对乙醇气体敏感的传感器 ,并证实了传感器结 构优化的必要性 。 关键词 : 　导波与光纤光学 ; 长周期光纤光栅 ; 溶胶 凝胶 ; 气敏传感器 ; 结构优化 中图分类号 : TN253 ; TP2 12 . 14 　　　文献标识码 : A S t r u ct u r e Op t i m i z a t i o n of L o n gP e r i o d Fi b e r Gr a t i n g Ga sS e n s i n g F i l m S e n s o r s 1 1 1 2 Xu Yanp in g 　Gu Zh en gtian 　Ch e n J iabi 　Gao Kan 1 L ab . of Ph ot oElect r ic F u n ct i on a l Fi l m s , U n i ver si t y of S h a n gh ai f or Scie n ce a n d Tech n ol ogy , Sh a n gh a i 200093 2 L ab . of I n f or m a t i on Op t ics , Sh a n gh ai I n st i t u t e of Op t ics a n d Fi n e Mech a n ics , The Chi n ese Aca dem y of Scien ces , Sh a n gh ai 20 1800 A bs