高精度球面检测中调整误差的精确校正.PDF

第 11 卷 第 1 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 11 No. 1 20 13 年 1 月 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 20 13 高精度球面检测中调整误差的精确校正 1 2 2 2 2 王道档 ， 杨 甬英 ， 陈晓钰 ， 邵卫红 ， 卓永模 （1. 中 国计 量 学 院计 量 测试 工 程 学 院 ， 杭 州 3100 18 ； 2. 浙 江 大学 现代 光 学仪 器 国家重 点 实验 室 ， 杭 州 310027 ） 摘 要 ：针 对 高精 度球 面检 测 中球 面 的调 整 误 差 影 响 ，分 别研 究 了波前 离焦和 倾 斜 所 引入 的Zernike像 差 项 ，并 以此 为基 础 ，提 出了基 于Zernike 系数 的 高精 度球 面调 整误 差校 正 方 法. 利 用Zygo干 涉仪 对 大数 值 孔 径 的待 测球 面进 行 了 检 测 ，实验 中对待 测球 面 同时 引入 波前 离焦和倾 斜 误 差 ，再 分 别运 用所提 出的校 正 方 法和传 统 的 消倾 斜 离焦校 正 方 法得 到 波 面数 据 并进 行 对 比 ，进 而验 证 了所提 出的校 正 方 法 的 可行 性 . 实验 结 果表 明 ，利 用该 方 法 可有 效 地校 正 大 数 值 孔 径球 面存 在 调 整 误 差 时所 引入 的球 面像 差 ，并且 实验 中的校 正精 度 达 到 了0.002λ （λ 为检 测 光 波 长 ）. 提 出的 基 于Zernike 系数 的球 面调 整误 差校 正 方 法 可 降低 对 于调 节机 构 的精 度 以及检 测人 员的 经验要 求 ， 在 高精 度球 面检 测 中具 有 非 常 高的 实际应 用价值 . 关键 词 ：调 整误 差 校 正 ； 系数 ；球 面检测 ；波前 离 焦 ；波前倾 斜 Zernike 中图分 类 号 ： 文献标 志码 ： 文章编 号 ： （ ） TH744.3 A 1672鄄6030 20 13 0 1鄄0020鄄07 Accurate Calibration of Misalignment in High鄄Precision Spherical Surface Testing 1 2 2 2 2 Wang Daodang ， Yang Yongying ， Chen Xiaoyu ， Shao Weihong ， Zhuo Yongmo （1. College of Metrology and Measurement Engineering ， China Jiliang University ， Hangzhou 3100 18 ， China ； 2. State Key Laboratory of Modern Opti