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尺蠖驱动器钳位机构的优化设计
8 3 Vol. 8 No. 3
第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程
2010 5 :
年 月 张兆成等 尺蠖驱动器箝位机构的优化设计 · ·
2010 5 Nanotechnology and Precision Engineering May 2010
年 月
尺蠖驱动器箝位机构的优化设计
，
张兆成 胡 泓
( ， 518055)
哈尔滨工业大学深圳研究生院机械工程与自动化学科部 深圳
: ， 、
摘 要 箝位机构的性能直接影响尺蠖驱动器的性能 为满足尺蠖驱动器箝位机构输出力大 响应速度快和结构紧
， . ， ，
凑的工作要求 设计了单切口柔性铰链桥式箝位机构 该柔性机构的设计必须综合考虑机构的静动态特性 为此
， ，
建立了该机构的理论模型 通过刚度和固有频率的试验测试以及有限元分析 发现结构紧凑的小尺寸桥式柔性机
， . ，
构的理论模型误差较大 很难建立简单精确的理论模型 因此 利用有限元法研究了该柔性机构各几何参数对其静
， ， ，
动态特性的影响 并通过改变该柔性机构的几何参数 实现对该柔性机构的静动态特性进行优化 以达到设计要
. .
求 结果表明它是一种简单有效的桥式耦合柔性机构的优化设计方法
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关键词 箝位机构 柔性铰链 有限元法 桥式 尺蠖驱动器
中图分类号:TH112. 5 文献标志码:A 文章编号:1672-6030 (2010)03-0251-06
Optimum Design of Clamp Device for Inchworm Actuator
ZHANG Zhao-cheng ，HU Hong
(Department of Mechanical Engineering and Automation ，Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School ，
Shenzhen 518055 ，China)
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