极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用.PDF

·62 · 《测控技术 》2007年第 26卷第 9期 极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用 1 2 陈凡秀 , 何小元 ( 1. 青岛理工大学 理学院 , 山东 青岛　266033; 2. 东南大学 M EM S教育部重点实验室 ,江苏 南京 　2 10096) 摘要 :分析了牛顿环法的测量原理 ,利用牛顿环法对芯片翘曲度进行了测量 。在钠光源照射下 ,利用 CCD 摄像机采集芯片 和基准面之间的等厚干涉条纹 。为快速 、准确地计算条纹级数 ,提出了极值点提取法 ,该方法能够 自动获取灰度曲线极值 点的个数以及位置 。由灰度曲线的极小值点个数得到暗条纹级数 ,从而获取芯片相对于基准面的翘曲程度 ,完成芯片的翘 曲度测量 。利用该方法对手机屏幕芯片的翘曲度进行了测量 ,并将测量结果与投影散斑相关测量法所得结果进行分析比 较 。实验结果表明极值点提取法计算牛顿环条纹级数 、实现芯片翘曲度测量的精度和可行性 。 关键词 :牛顿环法 ;翘曲度 ;极值点提取 ;条纹图 中图分类号 : O631; O348　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 1000 - 8829 (2007) 09 - 0062 - 03 A pplica tion of the Extrem e Po in t Extraction M ethod for M ea sur ing the W arpage of M ob ilePhone Ch ip 1 2 CH EN Fanxiu , H E X iaoyuan ( 1. College of Sciences, Q ingdao Technological Un iversity, Q ingdao 266033 , Ch ina; 2. Key L aboratory of M EM S of M in istry of Education , Southeast U n iversity,N anj ing 2 10096 , Ch ina) A b stract: The theory of the N ew ton ring m ethod is analyzed and the ch ip warp age is m easured by u se of the N ew ton ring m ethod. A sodium lamp illum inates the system , and the fringe p attern s generated by the in terference of the ch ip and the reference su rface are cap tu red by a CCD cam era. To evaluate the number of the fringe qu ick ly and exactly, the extrem e po in t extraction m ethod is p ro po sed. The num ber of the extrem e point can be efficiently extracted by u se of the m ethod and the num ber of the