关于机械精密制造技术的探讨.pdfVIP

，1 a U 5 llIl 学术 关于机械精密制造技术的探讨 056002 公司河北邯郸一郭书花 摘 要 业的主流发展方向 ，而 目前在这一方面也尚存在一定的不足。在这种背景下 ，本文从机械精密制造的理念、机械精 密制造发展概况及 三个方面着手 ，对机械精密制造技术进行了探讨。 i．机械精密制造的理念概述 精密金刚石切削机床 的开发研究，投入了巨额 子机械、集成 电路的需要 (如制造微型传感器、 精密细微制造当前是指被加工零件的尺寸 资金和大量人力，实现了大型零件的微尺寸超 微型驱动组件等)，因此 ，超精密加工技术将 精度高于0．ium，表面粗糙度Ra小于0．025um， 精密加工 。如美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室 向大型化、微型化方向发展。三是 向加工检测 以及所用机床定位精度 的重现性高于 0．Olum 已经研制 出一台大型光学金刚石车床，这是一 一 体化方 向发展 。由于精密细微加工的精度很 的加工技术 ，也称之为亚微米级制造技术，且 台最大加工直径为 1．63m的立式车床，定位精 高，为此急需研究开发加工精度同步测量技术， 正在向纳米级加工技术发展。精密细微制造技 度可达 28nm，借助在线同步误差补偿能力，它 因为同步测量是加工测量一体化技术的重要组 术的研究主要包括：精密制造的机理研究、精 已实现了距离超过 1m而直线度误差只有 ±25nm 成部分，是保证产品质量和提高生产率的重要 密加工的设备制造技术研究、精密加工工具及 的加工。 关键技术。四是不断探讨适合于精密细微加工 刃磨技术研 究、精密测量技术和误差补偿技术 在精密细微制造技术领域，英 国克兰菲 的新原理、新方法、新材料。精密细微加工机 研究、精密加工工作环境条件研究等。自1959年， 尔德技术学院所属的克兰菲尔德精密工程研 理涉及微观世界和物质内部结构，可利用的能 费曼博士在加州理工学院物理学会年会的演讲 究所 (简称 CUPE)享有较高地位，它是 当今 源有机械 能、光能、电能、声能、磁能、化学 中，提到制作极小尺寸物体的可行性概念后， 世界上精密工程的研 究中心之一，是英国超精 能、核能等，十分广泛。不仅可 以采用分离加 微型化技术研究风潮即开始蔓延起来 。从那 时 密制造技术水准 的独特代表 。如 CUPE生产 的 工、结合加工、变形加工，而且可 以采用生长 后起，微型化技术发展 己到令人惊讶 的地步， Nanocentre(纳米加工 中心)既可进行超精 堆积加工；既可采取单独加工方法，更可 以采 显著的应用在新兴的消费性产品上 ，特别是在 密车削，又带有研磨头也可进行超精密磨削， 取复合加工法 (如精密电解磨削、精密超声车 医疗、通信、光电、光学、电子、生物科技等 加工工件的形状精度可达 0．1um，表面粗糙度 削、精密超声研磨、机械化学抛光等)。此外， 产业领域里。 Ra1Onm。 精密细微加工的被加工材料对其加工质量的影 一 般 以MEMS为 主 的 微 制 程 (Micro 日本对精密细微制造技术的研究相对于美、 响很大，其化学成分、力学性能均有严格要求， fabrication)技术可分类为：体型微加工 (Bulk 英来说起步较晚，却是当今世界上精密细微制 因此也应研究新 的工具材料 (如切削刀具、磨 Micromachining)制程、面型微加工 (Surface 造技术发展最快的国家。 日本的研究重点不 同 削磨料)及被加工材料。 Micromachining)制程 、及 LIGA (Lithography 于美国，美国是以发展国防尖端技术为主要 目 4．小结 Electr0f0rmingMicroMolding)制程等三种 标，而 日本是以民用 品应用为主要对象，主要 在未来机械制造的发展