原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
铜布线化学机械抛光的失效研究 study on the defect of copper cmp
·制造工艺与设备·
铜布线化学机械抛光的庆融研究
周国安，柳滨，王学军，种宝春
(中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊101601)
摘 要：分析了铜电连接在今后晶片制造中的主导作用，阐述了铜布线的结构，即在由钽作为阻挡
层及采用电镀铜形成的电连接的情况下，抛光规律符合经典普莱斯顿方程；在粗抛磨料采用氧化
铝．精抛配比采用武亚红提出的方案情况下，采用旋转式低速较大下压力情况下抛光，整个晶片依
然存在较大的不均匀性。分析100
txm线宽的碟形缺陷会逐渐减小但最后会有少许增大。整个晶片
的侵蚀会和其图案密度成正比，但在同种分布情况下，精抛时间越长，则侵蚀缺陷越大。最后指出
了今后发展的高速底压力会显著解决当前不均匀性问题，但失效机制分析意义依然很重大。
关键词：铜；化学机械平坦化；钽；碟形缺陷；侵蚀
中图分类号：TN305．2 文献标识码：A
of CMP
onthedefect
Study copper
Bao-churl
ZHOUGuo．all，LIUBin，WANGXue—Jun，CHONG
of
45thResearchInstituteCETC，East 101601，China)
(The Yanjiao，Beijing
the roleinthefuture to the
Abstract：First，the leading chip，thenexpound
paperanalysiscopper’S
Taasbarrierand as modesuit
structureofthe is line，which pre·
wiring．That copper polish
copper
thefinial
use as
ston’S the circumstance，toA1203slurry；underpol—
equation；underprimarypolishing
we and downforce
circumstance．TouseWu uselow
ishing Yahong’Sadvice，and speedhigla rotary
waferstillhave WIWNU．to100umline
CMPto wafers．Wefindthewhole great study width，
polish
will decreasebutintheendtherewillbea
w
您可能关注的文档
- 同杆并架多回输电线路工频电场研究 study on power frequency electric field of multi-circuit transmission lines on same tower.pdf
- 同杆并架双回线保护选相实用算法的研究 research on fault phase selection method of protective relay for double circuit lines on the same tower.pdf
- 同杆并架双回线故障选相研究 fault phase selection study for double-circuit transmission lines on the same tower.pdf
- 同杆并架双回线继电保护工程应用实践 application of relay protection for double-circuit lines on the same pole.pdf
- 同杆并架输电线路跨线故障识别元件 cross country fault identifier for power system transmission line on a same pole.pdf
- 同杆并架双回线阻抗选相方法研究 research on phase selection method based on impedance measurement for double-circuit line.pdf
- 同杆并架双回线零序互感对距离保护的影响研究 study on the influence of zero sequence mutual inductance upon distance protection in double transmission line on same tower.pdf
- 同杆并架双回线自适应重合闸组合判据 an combination criterion on adaptive reclosure for double transmission lines.pdf
- 同方以科技创新实现社会责任——专访同方总裁陆致成.pdf
- 同杆并架双回线路故障分析及应对措施.pdf
- 铜带材冷轧机控制系统的应用研究 application and study on control system of copper cold rolling mill.pdf
- 铜包铝芯电线电缆在建筑电气工程中的应用 application of copper clad aluminum cable in architecture electrical engineering.pdf
- 铜导体加工技术的发展 development in the copper conductor processing technology.pdf
- 铜过量对cuxalo2(1≤x≤1.06)电学性能的影响 effect of cu-excess on the electrical properties of cuxalo2 (1≤x≤1.06).pdf
- 铜覆铝母线的推广应用.pdf
- 铜合金外壳弯曲工艺与模具设计 the bending process and mold design of copper alloy shell.pdf
- 铜对不同组合变压器油纸绝缘系统热老化特性的影响 copper effect on the thermal aging properties of different transformer oil-paper insulations.pdf
- 铜互连氮化硅薄膜沉积技术中电压衰减的研究 beol cu interconnect sin deposition vbd study.pdf
- 铜合金中钛(0.15%～0.60%)的测定方法.pdf
- 铜互连线内电流拥挤效应的影响 influence of current crowding for cu interconnects.pdf
文档评论（0）