铜铟镓硒柔性薄膜太阳电池的制备及性能表征 preparation and property of cuin1-x-xgaxse2 thin film solar cells on flexible substrates.pdfVIP
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铜铟镓硒柔性薄膜太阳电池的制备及性能表征 preparation and property of cuin1-x-xgaxse2 thin film solar cells on flexible substrates
里整煎至皿■衄U
铜铟镓硒柔性薄膜太阳电池的制备及性能表征
方小红,赵彦民,杨 立,冯金晖,李 巍
(中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源技术重点实验室,天津300381)
摘要:以厚度为25.70um的钛箔为衬底。直流磁控溅射法制备O。8~1.2
pm的底电极Me薄膜,而后以Culn和
S/CdS亿nO亿A0/AI。其光电转换效率达到7.3%(25℃,AM0J。
关键词:铜铟镓硒;薄膜;太阳电池;柔性
中图分类号:TM914.4 文献标识码:A 文章编号:1002—087
X(2009)05—0406—03
and thinfilm
of solarcells
Culnl——.GaxSe2
Preparationproperty
onflexiblesubstrates
FANG Wei
Xiao—hong,ZHAOYan—rain,YANGLi,FENGJin.hui,LI
LabofPower InstituteofPower
Key Sources,rianjin300381,China)
(National Sources,Tianjin
thinfjlmsolarcellswere on thickTifoilsflexibleSUbstrates.A0.8-1。2
27-70/4m
Abstract:Culnl一届a,Se2 preparatived
was DC sewedasthebackcontact.TheCIGS
p.mmolybdenum(Me)layerdepositedby magnetmnsputtering,which
were the metallic Cu-Ga
method.Cu-ln-Ga were
absorbinglayers grownby two-step precursorsdepositedusing
andCu-ln DC metallic films selenizedinvacuum
were
alloytargetsby magnetronsputtering.Theprecursor
and ZnOwere onCBD
evaporation AI-doped depositedby
system.Intrinsic-ZnO
CdS theAI contactwas DC ofCIGS-basedsolar
devices,andtop dep
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