利用动态反应池电感耦.PDF

利用动态反应池电感耦 前言 合等离子体质谱仪分析 在半导体工业中，硝酸被广泛地使用。 硝酸中不纯物 半导体设备现阶段被设计更精确及对于低水平不 纯物含量要求更敏感。在许多关键性的制程中， 硝酸中的不纯物需要被监控，以期质量能达到一 定水平。 SEMI Standard C35-07081 具体列出硝酸 中金属元素浓度最大值及硝酸等级。 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) 由于它能同时迅速地 动态反应池(DRC™)是采用RF及直流电压的四极杆质量过 检测在各种制程化学品中超微量水平(ng/L或parts-per- 滤器之另一校正技术。此技术设计的优点为在特定质量范 trillion) 的分析物，故传统上为质量管理不可缺少的分析 围内的离子能顺利通过动态反应池，其余在范围外的离子 工具。 会被喷射掉。此过程即为Dynamic Bandpass Tuning (DBT) 。 然而，在常规等离子情况下指出氩离子会与样品基质成 由于此性能，不受欢迎的副产品离子不会在动态反应池中 份结合产生多原子谱线干扰(polyatomic interferences) 。 形成，即使使用反应力强的气体，如NH3 和O2 。 38 1 39 40 40 40 16 56 常见的干扰如 Ar H与 K 、 Ar与 Ca、 Ar O与 Fe 此篇应用主要在展示DRC能易于移除干扰，以利采用热等 。 离子体条件分析硝酸中微量水平之不纯物。 冷等离子体可有效减少以氩离子为基础之干扰效应，它 比热等离子体更易于抑制基质效应干扰。另外，由于较 低等离子体能量，其它在热等离子体中并未产生之多原 实验条件 子谱线干扰会因此产生。碰撞池(Collision cells)使用多 一般而言，硝酸浓度大约为70%，建议至少作两倍的稀释。 极杆及低反应气体证明对于减低多原子谱线干扰是有帮 (Tamapure-AA 10, TAMA Chemicals, Japan) 助的。这种方法需要使用动能甄别去除不需要的副产物 标准液采用10 mg/L复合型标准品(PerkinElmer Pure, 。然而，当分析ng/L水平时，动能甄别导致灵敏度损失 PerkinElmer, Inc., Shelton, CT USA). 是个问题。此外灵敏度损失对于较轻之分析元素更显重 要。 仪器为ELAN®DRC™ II (PerkinElmerSCIEX, Concord, Ontario, Canada). 仪器参数及样品导入条件详列于Table I. Table 1. 仪器参数及样品导入条件for ELAN DRC II ICP-MS. Spray chamber Quartz Nebulizer PFA-100 Torch Quartz-High efficiency Plasma gas 16 L/min Torch injector Pt Auxiliary