cmos电容式湿度传感器特性研究 a study on the performance of a cmos capacitive humidity sensor.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.48万字
约 4页
2017-08-21 发布于上海
举报
版权申诉

cmos电容式湿度传感器特性研究 a study on the performance of a cmos capacitive humidity sensor.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

cmos电容式湿度传感器特性研究 a study on the performance of a cmos capacitive humidity sensor

第34卷第4期电子器件 V01．34No．4 of 2011年8月 ChlameJournalEl∞h硼Devices Aug．2011 A onthePerformanceofaCMOS Sensor+ Study CapacitiveHumidity HU Yah，ZHAOChenglong，NIEMeng，Qm胧昭+ (研LaboratoryofMEMSoftheMinistryofEducation．SoutheastUniversity，Na叫ng210096．miM) on of Abstract：Athe aCMOS sensoris sensorWaS study performancecapacitivehumidity presented．Thishumidity fabricatedwiththestandardCMOS andtheMEMS testthe timeofthe technology post—processingstep．To response WaS Canbeseenfromthe sensorshowsa humiditysensor，anexperimentalset-updesigned．As meaSurements。the overthe from25％RHto95％RH．Themaximum ofthesensor2％RH．at goodhnearity testingrange hysteresis is 75％RH．AndthesensorhaSashort obviousdriftcanbefoundafterthesensorwastestedina time．No response short period． Key senso。；humiditysensor；CMOStechnology；MEMS words：capacitive EEACC：7230；2130；7320doi：10．3969／j．issn．1005—9490．2011．04．007 CMOS电容式湿度传感器特性研究8 刘岩，赵成龙，聂萌，秦明4 (东南大学MEMS教育部重点实验室。南京210096) 摘要：提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS 后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间，设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明，该电容式湿度传感器在相对湿度25％～95％的范围内具有较好的线性度；其回滞在75％RH时达到最大，为2％RH；该传感器响应时间较短；短期测试无明显漂移。关键词：电容式传感器；湿度传感器；CMOS工艺；MEMS 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号：1005—9490(2011)04—0379—04 湿度是大气中水汽占给定温度下空气中饱和水汽介质的介电常数发生变化，引起湿度传感器的电容值的百分比…。该物理量广泛应用于军事、气象、农业、改变，相对湿度与敏感电容之间存在确定关系。环境工业(特别是纺织，电子，食品)、医疗、建筑以及家用电相对湿度升高时湿度传感器电容值增加，相对湿度降器等方面，与工农业生产和人们生活息息相关”“。