cmos图像传感器研究 research of cmos image sensor.pdfVIP

电子科技2007年第9期(总第216期) CMoS图像传感器研究 陈剑，杨银堂 (西安电子科技大学微电子学院，陕西西安710071) 摘要结合cMOs图像传感感器的研究背景．从5十方面对cMOs图像传巷器与ccD图像传感嚣的优缺 点进行了比较，重点分析了cMOs图像传感器的蛄构、工作原理以及影响传感器性能的主要因素。并给出了相 应的解决方法。最后，预测cM0s图像传感器的技术发展趋势。 关键词cMOs图像传感嚣；图像传感器；电荷耦合器件 中圈分类号1他12 Res味rcllof CMoS S阻sor hnage Ch∞Ji∞，YangYhtmg 0f (sch00l Micr叫㈣ics，xidi衄UIIive瑚时，Ⅺ’蚰7l0071，Chi眦) A恼咖cIB啪d锄merese珊hinco CM0s CMoslm嘴S唧r，Iheadv柏tage8舳ddi蛆dv蝴0f 蚰dccD in witlI Imagesenso陪a糟compared a珊lygi8 nve鹕pectsthe咖phasis叩tIle facto瑙ofcMOs Im89e＆In∞瑁，alld principle8舯dp既fomam)e—iI】flu印ci“g c叫resp蛐di“g∞Iutio鹏8地given． ofⅡ屺futum呦dofCMOS Finally，8p雎dicd叽iB删lde I咖学serl80mtecllIlolo盱． CMOS K删rds image髀1180r；ilIl89e船瑚or；CCD 图像传感器是将光信号转换为电信号的装置。 高的市场价值。 目前，应用最为广泛的图像传感器主要有电荷耦 1研究背景 合器件ccD(char印一c伽pledDevice)图像传感器 自20世纪60年代末期，美国贝尔实验室发现 和互补金属氧化物场效应管cM0s(Compl∞entary Metal0xide 电荷通过半导体势阱发生转移的现象，提出固态 seⅡliconducm)图像传感器。随着半导 体制造工艺技术不断发展，cM0s图像传感器显示成像器件概念后，固体图像传感器便得到了迅速 出强劲地发展势头，并且被广泛地应用到数码电 发展，成为传感技术中的一个重要分支。20世纪 子产品、视频电子邮件、汽车尾视、医疗设备、 90年代初，CCD技术已比较成熟，得到非常广泛 保安监控、可视通信、眼膜识剐、工业视频监控、 的应用。随着ccD应用范围的扩大，其缺点逐渐 视觉玩具等社会生活和工业生产的方方面面。特 暴露出来，而采用标准的cMos工艺制造技术生产 别足数码产品例如数码相机、照相手机的图像传 的cM0s图像传感器则不断崭露头角。 感器可望由ccD快速转换到cM0s，市场前景广 2 CMOS和CCD的比较 阔，所以对cMOS图像传