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cmos星敏感器焦平面装配及标定 focal plane assembly and calibrating of cmos star sensor.pdf

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cmos星敏感器焦平面装配及标定 focal plane assembly and calibrating of cmos star sensor

第38卷第9期 光电工程 、,01.38,No.9 201l卑9月 Opto—Electronic Sept,2011 Engineering 文章编号:1003—501X(2011)09—0001—05 CMOS星敏感器焦平面装配及标定 钟 兴1,金 光1,王 栋1,邢 飞2 (I.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033· 2.清华大学精密仪器与机械学系,北京100084) 摘要:针对高精度CMOS星敏感器的使用要求,本丈对焦平面装配的误差进行了理论分析,搭建了CMOS星敏 感器装配及标定测试系统,利用长焦距平行光管像面移动测量方法进行了星敏感器轴上和轴外的星点成像,获取 了焦平面离焦量及倾斜数据.在这些数据指导下,成功完成了对某焦距50mm,相对孔径l/1.25,全视场200的 CMOS星敏感器的焦平面装配,轴上点离焦小于0.OImm,倾斜小于2’.对装配后的星敏感器在高精度气浮转台 上进行了主距测试和畸变标定,标定计算得到主距为49.77mm,精度0.0072mm。利用三阶多项式拟合的方法对 系统畸变进行了修正,修正后的残余畸变对单个星点测量的精度影响可减小到6.6”左右,满足高精度星敏感器的 使用要求. 关键词:CMOS星敏感器;焦平面;装配;标定 中图分类号:V448.222 文献标志码:A 1.09.001 doi:10.39694.issn.1003.50IX.201 FocalPlane and ofCMOSStarSensor AssemblyCalibrating ZHONG Fei2 Xin91,JINGuan91,WANGDon91,XING Institute Mechanicsand I (I.ChangchunofOptics,Fine Physics:ChineseAcademyofSciences,Changchun30033,China; Instrumentand 100084,China) 2.DepartmentofPrecision Mechanics,两inghuaUniversity,Beijing Abstract:Focal is tomatchthe of CMOSstar plane’Smisalignmentanalyzedtheoretically requirementhighprecision for and measurementofCMOSstarsensoris distanceand sensor.Systemassemblycalibrating established.Defocusing tiltofdetectorare on—axisandoff-axisstarsensor test collimator’S planeacquiredby imagingthrough imageplane CMOSstarsensorwith50m

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