es势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响 effects of ehrlich-schwoebel barrier changing with step height on thin film growth.pdfVIP

下载本文档

34
0
约1.78万字
约 5页
2017-08-22 发布于上海
举报
版权申诉

es势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响 effects of ehrlich-schwoebel barrier changing with step height on thin film growth.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

es势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响 effects of ehrlich-schwoebel barrier changing with step height on thin film growth

第33卷第5期固体电子学研究与进展 V01．33，No．5 2013年10月 RESEARC 0ct．，2013 HPROGRESSOFSSE 7＼pupqpq)pqp“ ≈材料与工艺l 7k_p_f4_。c^《c^0 ES势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响+ 李德钦唐吉玉“ 崔婧李培王茜 (华南师范大学物理与电信工程学院，广州，510006) 2013-03—12收稿。2013-04—28收改稿化。模拟结果表明：考虑ES势垒时，随着基底温度升高和沉积速率的降低，薄膜的粗糙度越来越低，成膜质量越好；一层ES势垒和层间势垒差对薄膜生长机制和成膜质量都有影响。关键词：薄膜；ES势垒；台阶高度；粗糙度；覆盖率中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1000—3819(2013)05—0458—04 EffectsofEhrlich—SchwoebelBarrier Changing with onThinFilmGrowth StepHeight LI TANGCUI LIPeiWANGXi Deqin Jiyu Jing (School andTelecom，”unication ChinaNormal ofPhysics Engineering，SouthUniversity Guangzhou，510006，CHN) 3一dimensionalthinfilmissimulatedin Abstract：A MonteCarlomethod．Inthismode，Ehr— lich—Schwoebelbarrier withthe resultsare changes stepheight．Two concluded：Whenconsider— Ehrlich～Schwoehelfilmbecomessmootherwiththesubstrate ing barrier，the temperaturerising and rate Ehrlich—Schwoebelbarrierandthebarrierdifference depositiondecreasing：Onelayer willinfluencethe andthe thin of film． growthprocess quality words：thin rate Key film；Ehrlich—Schwoebelbarrier；stepheight；roughness；coverage EEACC：0240G；0520 人们应用蒙特卡罗模型模拟薄膜的生长，取得引言了很大的成果。刘祖