psd空间三维非线性修正技术的研究 study on spatial 3-d nonlinear correction technique for psd.pdfVIP

兴电子·激巍 第18卷第5期2007年5月 Journal V01．18 No．5 2007 ofOptoelectronics·Laser May PSD空问三维非线性修正技术的研究* 郭丽峰一，张国雄，郭敬滨，李醒飞，刘文耀 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) 摘要：提出了一种长距离激光准直测量中的位置敏感探测器(PSD)空间三维非线性修正技术，研制了在三维空 间内测量二维PSD非线性的自动标定系统。在长达78m的准直测量范围内，对二维PSD的非线性特性进行 了标定实验，实验结果表明，PSD与激光源距离不同时，其非线性特性具有很明显不同。利用多层前馈神经网 络建立了入射光实际位置与二维PSD输出坐标以及准直距离间的空间三维映射关系，进而对PSD的空间三维 非线性进行修正。非线性修正后的PSD读数误差，在整个测量范围内表现为不大于±0．012mrn的随机误差。