基于聚吡咯微电极的mems微型超级电容器的研究 fabrication and tests of a micro-supercapacitor using polypyrrole-based micro-electrode.pdfVIP

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2017-08-21 发布于上海
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基于聚吡咯微电极的mems微型超级电容器的研究 fabrication and tests of a micro-supercapacitor using polypyrrole-based micro-electrode.pdf

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基于聚吡咯微电极的mems微型超级电容器的研究 fabrication and tests of a micro-supercapacitor using polypyrrole-based micro-electrode

第34卷第1期电子器件 V01．34No．1 ofElectronDevices 201 ChineseJournal Feb．20ll 1年2月 FabricationandTestsofaMicro-Supercapacitor Using Micro-Electrode事 Polypyrrole-Based ZHOU Yang，WANGXiaofeng+，ZHANGGaofei，RUANYong，YOUZheng (DepartmentofPrec厶ion 100084，China) Instrument＆Mechanology，Tsingh∽University，Beijing Abstract：MEMS indicatesthemicro-fabricationthatcanbeusedtoattainthemicro- micro—energy technology and of and the isa devices and systemsenergyacquisition release，while conversion，storage micro—supercapacitor devicebasedOffelectrochemical mechanism．A was micro—energystorage energystorage micro—supercapacitor andfabricatedwitha electrode structure．Itwasconstructed designed side—by—side configuration bymicro—structure， film wasmade featureandacid whichthemicro—structure themicrofabrication electrolyte，in by including technology ICP the filmofthemicroelectrodewas onthesurfaceof etching，whilePPY(Polypyrrole)feature electrodeposited thecurrentcollector．Theelectrochemicaltestresultsshowthatthe hasa of micro·supercapacitorsspecificcapacity 6．6mF／cm2andan of3mJ／cm2．Theresultsalsoindicatethat tothePPY．thePPY— density energy