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白光反射谱测薄膜厚度实验 Measurement of Thickness of the Thin FiIm Using Reflectance Spectrum of the White Light 刘滢滢 柯伟平 董占民 高红 (清华大学，北京市 10o084) Liu Yingying Ke Weiping Dong Zhanmin Gao Hong (Tsinghua University,Beijing 1 00084) 【摘 要】本实验利用白光的反射谱来测薄膜的厚度，利用单色仪测量不同波长光的干涉光强度，把对条纹 的测量转变为对不同波长干涉光强度的测量，既可以手动也可以利用数据采集系统自动采集和处 理数据，使操作和测量更加简洁方便。 【关键词】单色仪 反射谱 干涉光强 Abstract：Thickness ofthe thin film was measured throu曲using reflectance spectrum ofthe white light and interference li曲t intensity ofdifferent wavelength was measured by monochrometer．The measurement ofinterference light intensity of different wavelength was transformed from the measurement of the stripes．So it is very convenient to operate and test by hand or by automatic data acquisition system． Key words：Monochrometer Reflectance Spectrum of the White Light Interference Light 引言 质1～2表面时又有一部分发生反射记为I。：，一部分发 对于薄膜厚度的测量目前普遍采用光的干涉法来 生折射透过薄膜射出去；其中的I。 又会在介质1～0面 测量，但是对于干涉条纹的测量却成为比较费时又费 发生反射和折射，折射出去的部分记为I ：。，则I。。与I。：。 力的工作，本实验利用白光的反射谱来测薄膜的厚度， 会在薄膜表面发生干涉，两束光的光程差公式为： 利用单色仪测量不同波长光的干涉光强度，把对条纹 AL=2nlh一÷九 的测量转变为对不同波长干涉光强度的测量，既可以 二 手动也可以利用数据采集系统自动采集和处理数据， 其中光在1～2界面发生反射时产生了半波损失， 使操作和测量更加简洁方便。 1 实验系统由单色仪、白光光源、电子放大与显示、 所以公式中有个 ^，另外 其实是波长的函数不是 操作系统、接收器件、A／D转换单元、计算机等组成。 定值。干涉强度的极大 (亮纹)和极小 (暗纹)分别 仪器有两路出射分别用硅光电池与CCD接收。从光栅 位于以下地方： 单色仪出射的光经光电池进行光／电变换、放大或经 C CD后由计算机及数据采集卡进行数据采集与数据处 AL=2nIh-圭九=从(极大) 2 一吉九= 十 九(极，J、) ： 4n， … (极大) 理。处理结果可以以图形文件和数据文件两种方式保 = ： 2 (极，J、) 存，方便打印或平滑处理。