cmos硅风速传感器热性能的分析 analysis on thermal performance of silicon wind sensor.pdfVIP

MEMS器件与技术 MEMS Device＆Technology CMOS硅风速传感器热性能的分析 郁 红，刘 肃 (兰州大学微电子研究所，兰州 730000) 摘要：给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、 结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式，建立各自的一维传感器热学模型， 其和传感器特征尺寸的关系。最后，通过试验结果验证了模拟的正确性。 关键词：二维风速传感器；恒温差模式；恒定功率模式；有限元分析 中图分类号：TP212．1文献标识码：A文章编号：1671—4776(2007)04—0190—05 onThermalPerformanceofSiliconWindSensor Analysis YU Su Hong，LIU (Departmentofmicroelectronics，LanzhouUniversity，Lanzhou730000，China) themalmodelofa 2DsiliconwindsensorCMOSIC Abstract：The and by structure，principle was couldmeasurewind anddirection technologypresented，which velocity one-dimensionalthemalmodelsof1Dsensorbasedontwocontrol simplified and relationbetweenthethermal temperature—differenceconstant—power)weregiven．The perfor- manceanditsfeaturesizeandcontrolmethodwerediscussedand ANSYS／FLO— comparedusing TRANl41inthe thetestresultsverifiesthesimulationresults． model．Lastly flow difference mode words：2Dsensor；constant Key temperature element (CP)；finiteanalysis(FEA) 限元分析)中FLOTRANCFD对传感器结构尺寸 l 引 言 进行建模和热分析，并且比较了热损失…和热温 风速传感器在现代社会中的应用越来越广泛， 差型[2-31两种控制方法对传感器性能的影响。本 如环境检测和控制系统、天气预报系统等；同时基 文首先给出风速传感器的工作原理、结构、理论模 于CMOS工艺的风速传感器与信号处理电路的集型，然后根据热学原理对加热源的传感器建立热模 成可以实现微型化、智能化、数字化，大大提高整 型，通过模拟数据比较两种控制方法的优劣，并优 体的性能；基于这些优