压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制-农业机械学报.pdfVIP

２０１１年 ４月 农 业 机 械 学 报 第 ４２卷 第 ４期 压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制 刘定强　黄玉美　谢　礼　杨　勇 （西安理工大学机械与精密仪器工程学院，西安 ７１００４８） 　　【摘要】　设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统，宏动台由伺服电动机直接驱动，微动台由 压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成，并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台安装在宏动台上，微动台和宏动台是串联关 系。宏动台用于实现大行程微米级定位，而纳米级定位由微动台实现。利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协 调宏微工作台之间的控制，而位置反馈由两个高精度光栅完成，精度检测由激光干涉仪完成。当宏动台运动结束 后，微动台根据测得的定位误差做出补偿进给。实验表明，在行程 １００ｍｍ的范围内每隔 １ｍｍ采集一点，误差控制 在 ±１００ｎｍ以内。 关键词：宏微驱动　弹性铰　压电驱动器　点位协调控制 中图分类号：ＴＰ２４２ 文献标识码：Ａ 文章编号：１０００１２９８（２０１１）０４０２２００４ ＰｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇＣｏｎｔｒｏｌｏｆＰｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃＭａｃｒｏｍｉｃｒｏＤｕａｌＤｒｉｖｅ ＬｉｕＤｉｎｇｑｉａｎｇ　ＨｕａｎｇＹｕｍｅｉ　ＸｉｅＬｉ　ＹａｎｇＹｏｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＸｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｘｉａｎ７１００４８，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｒｉｖｅｒ，ａｍａｃｒｏｍｉｃｒｏｄｕａｌｄｒｉｖｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｓｙｓｔｅｍ ｗａｓ ｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｔｈｅｍａｃｒｏｓｔａｇｅｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍｗａｓｄｒｏｖｅｂｙｓｅｒｖｏｍｏｔｏｒ．Ｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔａｇｅｗａｓｃｏｎｓｉｓｔｅｄｏｆ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｒｉｖｅｒａｎｄｆｌｅｘｉｂｌｅｈｉｎｇｅ，ａｎｄｄｒｏｖｅｂｙｔｈｅｆｏｒｍｅｒ．Ｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔａｇｅｗａｓｍｏｕｎｔｅｄｏｎｔｈｅ ｍａｃｒｏｓｔａｇｅａｎｄｓｈｏｗｅｄａｓｅｒｉｅｓｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ．Ｔｈｅｍａｃｒｏｓｔａｇｅａｎｄｍｉｃｒｏｓｔａｇｅｗｅｒｅｕｓｅｄｔｏｒｅａｌｉｚｅｌａｒｇｅ ｗｏｒｋｓｐａｃｅａｎｄｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｔｈｅｅｒｒｏｒｏｆｐｏｓｉｔｉｏｎ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｗｉｔｈｔｈｅｏｐｅｎｓｅｒｖｅｃｏｎｔｒｏｌｏｆｍｏｔｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌｃａｒｄ，ｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｏｆｍａｃｒｏｍｏｔｉｏｎａｎｄｍｉｃｒｏｍｏｔｉｏｎｗａｓｈａｒｍｏｎｉｚｅｄ．Ｔｈｅｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｆｅｅｄｂａｃｋｗａｓｒｅａｌｉｚｅｄｂｙｔｗｏｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｇｒａｔｉｎｇ．Ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｄｅｔｅｃｔｉｏｎｗａｓｃｏｍｐｌｅｔｅｄｂｙ ｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ．Ｉｎｔｈｅｗｈｏｌｅｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ，ｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔａｇｅｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄｔｈｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｅｒｒｏｒｗｈｅｎｔｈｅｍａｃｒｏｓｔａｇｅｆｉｎｉｓｈｅｄｍｏｖｉｎｇ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｗｉｔｈｉｎｔｈｅｔｒａｖｅｌｒａｎｇｅｏｆ １００ｍｍ，ｔｈｅｐｏｓｉｔｉｏｎｅｒｒｏｒｉｎｅｖｅｒｙｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒｗａｓｌｅｓｓｔｈａｎ±１００ｎｍ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ　Ｍａｃｒｏｍｉｃｒｏｄｕａｌｄｒｉｖｅ，Ｆｌｅｘｉｂｌｅｈｉｎｇｅ，Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｄｒｉｖｅｒ，Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｃｏｏｒｄｉｎａｔｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌ 米，在实际加工中受限。因此需要在超精密加工中 　　引言