高温超导体厚膜及其在微波无源器件上的若干应用 the thick film of high temperature superconductor and its applications for microwave passive devices.pdfVIP

·高温超导器件应用专题· 高温超导体厚膜及其在微波无源器件 上的若干应用 顾 民1，杨森祖2 (1．南京大学物理系，江苏南京210093； 2．南京大学电子科学与工程系，江苏南京 210093) TheThickFilmof andIts HighTemperatureSuperconductOr ApplicatiOns forMicrowavePassiveDevices GUMinl。YANGSen—zu2 210093，C^i行口I (1．D已户口rfmP起fD，P^ysifs，Nn疗歹i行gL7hiz肥r5ify，Nd行Ji玎g 2． SciP以fP口九d 210093，C，li行口) D已户口r￡，摊P竹fo。，．EZPcf，．o竹ic E行gi竹ePri竹g，^f口行Ji行gLhi勘P，丐i￡y，N口挖Ji行g the of filmof Abstract：Thisbriefreviewis on and thick reportedpreparationproperties hightempera— ture ofthethickfilmisalso forthemicrowavedevices． superconductor，andapplication depicted passive filmsu— film；Microwavedevice；Thick Keywords：Hightemperaturesuperconductor；ThickpassiVe filter perconductor 摘要：系统论述了高温超导体厚膜的概念、制备方法，高温超导体厚膜的特性，介绍了高温超导体厚膜在微波无源器件上 的若干应用。 关键词：高温超导体；厚膜；微波无源器件；厚膜超导滤波器 中图分类号：TM26文献标识码：A 文章编号：1002—8935(2009)0l一0014一06 所谓厚膜的概念，并不是从膜的厚度多少来定 非液态，要求不易燃、无毒等。粘合剂的作用主要是 义的，它来自于厚膜的制备方法，一般采用手术刀 在溶剂挥发后能保证氧化物粉末颗粒之间的粘结， 式、丝板印刷式和喷涂式等方法制备的陶瓷类材料 从而保持膜的基本形态，可以选择纤维素等。溶胶一 (氧化物高温超导体)的膜都称为厚膜。厚膜的厚度 凝胶(Sol—gel)方法也是成膜的一种方法，它可以将 有一定的范围，一般在10～200“m的范围内，也有粘稠的溶液(s01)转变为具有类固体性质的凝胶 更厚一些的，可以达到毫米量级。氧化物高温超导 (gel)。第三步是将胶体涂敷或印刷到衬底上，衬底 体厚膜的制备一般遵循如下步骤：氧化物粉料的制 材料的选择也很重要，对衬底材料的基本要求为：① 备；胶体的制备；将胶体涂敷或印刷到衬底上；低温 与厚膜不发生化学反应；②两者没有或甚少互扩散； 干燥；高温烧结形成固化厚膜。下面本文逐一进行