光学薄膜的激光损伤研究进展 research progress in laser induced damage on optical films.pdfVIP

第22卷第10期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22。No．10 HIGHPOWERLASERAND 2010年10月 PARTICI，EBEAMS Oct．，2010 文章编号： 1001—4322(2010)10—2237—07 ·综 述· 光学薄膜的激光损伤研究进展+ 李晓光1’2， 沈 军1’2 (1．同济大学波耳固体物理研究所，上海200092；2．上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室。上海200092) 摘要： 从理论、实验两方面对薄膜的激光损伤机理和提高损伤阈值的手段进行了回顾。概括了现有理 论模型及其适用范围，对缺陷的行为进行了多方面的论述，重点比较了各种制备方法及后处理手段的特点，分 析了主要工艺参数对薄膜损伤阈值的影响。结合本实验室及国内外同行的工作，对溶胶一凝胶法制备高损伤阈 值薄膜的工艺进行丁总结。从吸收、热传导、抗拉强度等角度对物理膜和化学膜在结构与性能七进行了比较， 提出了从化学键、成膜过程等方面分析损伤机理的建议，并结合真空污染，亚表面损伤等新问题提出了未来工 作的发展方向。 关键词： 激光损伤阈值； 光学薄膜； 缺陷； 物理气相沉积； 溶胶一凝胶 中图分类号： 0484 文献标志码： A doi：10．3788／HPLPB201022lO．2237 随着近年来惯性约束聚变(ICF)实验及核武器研究的需要，高功率强激光系统的规模也在不断扩大。如美 和涂层必须有足够好的稳定性和抗激光损伤能力。薄膜的激光损伤机理和如何提高激光损伤阈值(LIDT)一 直是强激光薄膜工作者最关心的问题。由于激光对薄膜的损伤涉及到光热、光电、激光参数、材料性质、非线性 吸收、电场作用、等离子产生等多个方面，十分复杂，所以损伤机理难以达成共识，也缺少普适性。然而理论与 实验工作者经过多年的努力，已经取得了大量可喜的成果，如根据具体情况提出了相应的理论模型；通过对制 备方法的改善明显提高了薄膜性能和损伤阈值。本文对相关理论成果进行了简单归纳，重点比较了不同的实 验手段对薄膜激光损伤阈值的影响。 1激光损伤机理的研究 理论工作者往往通过建立各种数学模型来解释损伤机理，并根据具体情况提出不同层次的理论。有关激 光损伤机理的基本理论有本征吸收机制、杂质缺陷机制、雪崩击穿机制、多光子吸收机制¨。33等；在特定情况下 如多层膜的激光损伤，有多层膜温度场模型、界面吸收模型、缺陷吸收模型¨】等；对多脉冲连续辐照下的激光损 伤提出了杂质模型、结构缺陷模型、晶格缺陷模型∞一等。一般而言，各种机制都有局限性，只是试图从某一角度 对激光与材料作用过程进行阐释，而激光的作用过程包括多种机制的耦合。正是因为研究对象本身的复杂性 以及影响因素的多样化，导致一些基本问题和模型的适用范围仍没有得到清楚的解释和验证。 还有一些研究人员利用计算物理学的方法对一些具体的影响因素进行模拟，试图对损伤行为给出理论解 释。如对表面内应力、微裂纹、微孔，杂质成分、尺寸、含量等凶素进行有限元分析，可以从理论上解释薄膜成 分、结构、形貌对激光损伤阈值的影响。例如特定位置的缺陷会限制热传导，导致激光能量积聚；不同的杂质所 引起的温升不同，从而对LIDT的影响也不同曲j。这些结论既可以帮助解释实验现象，也有助于实验者分辨主 次矛盾，以优化工艺。 1．1对缺陷问题的研究 激光损伤的过程大致是：激光进入薄膜后形成驻波场，薄膜通过本征吸收、杂质吸收、非线性吸收等方式将 光能转化成热，经过热熔融或热力耦合导致最终的损伤。大量实验结果及理论推断都已证明，薄膜的本征吸收 并不是破坏的主要原因，各种各样的缺陷才是吸收的决定性因素。例如对于某一确定波长，薄膜的损伤阈值随 材料带隙的增大而迅速增大。而大量的化学计量比缺陷会使薄膜在缺陷处的带隙降得很低，使其阈值远低于 *收稿日期：20lo—03—04；修订日期：2010-07—02 (09520714300)；J：海『仃重点实验室项l：t(07DZ22302) 作者简介：李晓光(1985～)，男．博士研究生．从事光学薄膜研究；lixiao