无机材料测试技术08扫描电子显微镜.pptVIP

* 3）色差 电子的能量不同，从而波长不一造成的。电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为： Cc 是透镜的色差系数，大致等于其焦距， 是电子能量的变化率。 引起电子束能量变化的主要有两个原因：一是电子的加速电压不稳定；二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 * 能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 图 色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 * 在电磁透镜中，球差对分辨率的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正过来。而其他像差（像散、色差）在设计和制造时，采取适当的措施是可以消除的。 Pay Attention! * 电子透镜分辨本领大，场深（景深）大，焦深长。 电子透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电子显微镜的应用和结构设计上具有重大意义。 景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。 §8-5 电子透镜的景深和焦深 * 场深的关系可以从图推导出来。在X≤dmin的条件下，场深 如dmin≌5 埃，α＝7×10－3 弧度时，Df 大约是1400埃，这就是说，厚度小于1400埃的试样，其间所有细节都可调焦成象。由于电子透镜场深大，电子透镜广泛应用在断口观察上。 * α 2MX α R L2 L1 Qi 2X Q Df 透镜 象平面 场深示意图 * 屏 透镜 α L1 L2 D1 2d最小 M 焦深示意图 * 焦深是指在保持像清晰的前提下，像平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 这里的M是总放大倍数。可见，焦深是很大的。例如：Df L1，M =104，Df =1400 埃时, DL =14米。当然，这一结果只有在 Df L1 时才是正确的，即便如此，所得的也是很大的。因此，当用倾斜观察屏观察象时，以及当照相底片不位于观察屏同一象平面时，所拍照的象依然是清晰的。 * 本章重点： 了解分辨率与光源波长的关系：d≈λ/2； 了解电子透镜工作过程中的存在的缺陷及产生的原因: 球差、像散、色差； 掌握景深和焦深 返回 * 第二篇 电子显微分析技术 * 绪论 用电子光学仪器研究物质组织、结构、成份的技术称为电子显微术。 材料的性能往往取决于它的微观结构及成分分布。因此，为了研究新的材料或改善传统材料，必须以尽可能高的分辨能力观测和分析材料在制备、加工及使用条件下（包括相变过程中，外加应力及各种环境因素作用下等）微观结构和微区成分的变化，并进而揭示材料成分—工艺—微观结构—性能之间关系的规律，建立和发展材料科学的基本理论。改炒菜式为合理设计。 * 主要内容 扫描电子显微分析 透射电子显微分析 电子探针显微分析 * 扫描式电子显微镜 (scanning electron microscope， SEM) ：1964年，第一部商售SEM问世，目前已被广泛的使用。SEM以较高的分辨率（3.5nm）和很大的景深可以清晰地显示粗糙样品的表面形貌，并以多种方式给出微区成份等信息，可用来观察断口表面微观形态，分析研究断裂的原因和机理，以及其它方面的应用。 * 透射电子显微镜（TEM）具有原子尺度的分辨能力，同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用，使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全面的信息。 * 电子探针（EPMA）是在扫描电镜的基础上配上波谱仪或能谱仪的显微分析仪器，它可以对微米数量级侧向和深度范围内的材料微区进行相当灵敏和精确的化学成份分析，基本上解决了鉴定元素分布不均匀的困难。 * 电子显微分析在材料学中的应用 ①晶相、玻璃相、气相的存在与分布； ②晶粒大小、形状、位置； ③气孔的尺寸、形式、位置； ④显微缺陷、微裂纹、晶体缺陷； ⑤晶界及其所在处的杂质； ⑥微区的成分分析。 * 第八章 电子光学基础 光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的，它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的方法不同，前者是可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场聚焦成像。 * §8-1 光学显微镜的局限性 §8-2 电子的波动性及波长 §8-3 电子在电磁场中的运动和电子透镜 §8-4 电子透