特种气体报警系统安装调试要点.PDFVIP

学 界 研究与交流 科技应用 特种气体报警系统安装调试要点 □陈伟新 前言 半导体电子厂房等洁净空调场所,工 艺上会用到各种气体如氢气(可燃、用于 光刻)、砷化氢 AsH(有毒、用于沉积植 3 入)、矽烷SiH(有毒、用于蚀刻)等。但 4 由于此类气体本身的特性,一旦泄露,将 会产生严重后果,如氢气在空气中的浓度 达到 4%时,遇明火就会发生爆炸,砷化 氢在空气中的浓度达到 0.2mg/m3时,人 会感到头疼、晕眩、呼吸困难、腹部、背部 疼痛、反胃、呕吐,引起血尿症、黄胆等疾 病。所以,如何有效监控这些可燃或有毒 气体就变得格外重要起来。本文以在深圳 某半导体有限公司龙岗新厂安装的可燃 气体为例,讲述其系统构成、工作原理、安 装调试注意事项,希望对同行有所帮助。 图 全厂气体报警深化系统图 1 一、系统组成 系统主要由气体探测器、报警控制器 和装有专门软件的计算机组成。报警控制 入控制器,从而发出报警。深化后的特种 火灾爆炸事故,气体浓度报警点的调整是 气体报警系统图如图 所示。 一个关键指标。通常,可燃气体报警器报 器通过PLC联动风机,启动相应的风机 1 排风并发出声光报警信号。 2、电流的变化(4~20mA)通过屏蔽 警点设置为被检测可燃气体爆炸下限的 电缆传至通道转换器( 转换),数字 范围内。 本项目初期主要针对可燃气体的监 A/D 1%~25% 控,有毒气体监控待业主确定后即可接 信号经报警控制器送至计算机与设定值 但对于不同的气体 (氢气和液化石 入,只要增加探测器和通道输入输出模 比较,从而确定是否发出报警信号或通过 油气),探测器的报警值的设定并不相 块,系统要求具有良好的可扩充性。 PLC联动风机。 同,这主要与不同气体与空气混合后的爆 根据设计技术要求,我们选用德国德 3、探测器监控不同气体时报警浓度 炸下限有关。根据中华人民共和国国家标 值的设定 准 《可燃气体探测器》规定,气 尔格安全设备有限公司产品,探测器选用 GB15322 可燃气体报警系统质量的好坏、是否 体报警浓度的值可按表 设置。 PloytronNDEx型,其精度和报警段数、 1 工作温度等能满足设计技术文件要求。 能够有效地预防可燃气体泄漏而引起的 表 1 二、系统工作原理 1、探测器工作原理: 采用催化燃烧热原理。目标气体通过 安全区 报警点设定区 危险区 烧结金属片进入传感器内。可燃气在传感 器内被加热的电极上产生催化燃烧,目标 气体提供燃烧所需氧气。催化燃烧使检测 元件变热,从而导致检测元件电阻的变 化,电阻的变化与被测气体中的可燃气混 合物成正比,探测器将电阻的变化转变为 4~2