传统硅烷分解炉内分解过程的模拟.pdf

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2017-09-03 发布于天津
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浙江理工大学学报第卷第期年月文章编号传统硅烷分解炉内分解过程的模拟姚晓晖罗列俞晓晶朱成良姚奎鸿浙江理工大学材料工程中心杭州摘要基于硅烷热分解的总体反应模型利用软件模拟了钟罩式硅烷分解炉内同时发生的传热传质和热化学反应过程模拟结果定量地表述了传统硅烷分解炉内发生的各个过程借此探讨了分解炉内的气压硅棒温度和硅烷流量等工艺条件对硅烷热分解沉积硅转化率及能耗等技术指标的影响指出硅棒温度为炉内压力升高至时有利于提高硅烷分解率抑制硅粉的产生和降低能耗关键词硅烷热分解数值模拟中图分类号文献标识码前言硅烷法制造

浙江理工大学学报，第 26卷，第6期，2009年 11月 JournalofZhejiangSci—TechUniversity VoI．26，No．6，Nov．2009 文章编号：1673—3851(2009)06—0901—05 传统硅烷分解炉内分解过程的模拟姚晓晖。罗列。俞晓晶，朱成良，姚奎鸿 (浙江理工大学材料工程中心，杭州 310018) 摘要：基于硅烷热分解的总体反应模型，利用 Fluent软件模拟了钟罩式硅烷分