X射线运动学理关于及其在半导体外延材料分析中的应用.pdfVIP

．．：．。。。，，：。。，。：。：。，。，。，。。。』塞』耋。，。，。。，。。。。。，。，。，。，，。一 摘要 在现代半导体材料的x射线分析中，运动学理论由于物理思想清晰而被广 泛应用。但在此之前，对它的应用仅限于超晶格、量子点等完全规律性的材料。 本论文在运动学理论中引入一定的修正策略后，将其应用于～般材料的分析。 主要工作内容有： 1．阐述了X射线运动学理论基本的物理思想并推导了它对外延材料重要 参数的分析和处理。详细论述了应用运动学理论进行材料分析时所受到 的限制。 2．基于运动学理论，结合外延材料的实际特点，分析了将运动学理论应用 于实际材料分析时需要着重考虑的衬底衍射、薄层效应、仪器效应等问 题并给出了相应的解决方案。 3．对单外延层结构材料、量子阱结构材料、含超晶格结构材料等，分别应 用动力学理论和运动学理论作了对比分析。所得结果证实了所引入修正 策略的合理性和可行性。 4．在对以上典型材料的分析中，结合特定的材料特性，阐述了应用运动学 理论分析的优点并指出了仍然存在的问题，针对问题提出了改进的方 向。 我们的实验结果证明；对于大多数结构比较简单的材料，在引入适当的修 正策略后，运动学理论能得到与测量曲线吻合更好的拟合结果；当材料结构过 于复杂时，运动学理论对于材料参数的灵敏度会低于动力学理论；此外，运动 学理论的应用不仅可以使分析过程中的参数调整有明确的方向性，而且其物理 思想对于分析结果的解释以及材料生长过程的指导都具有重要意义。 关键词：X射线衍射，运动学理论，动力学理论 Abstract itsclear X-ray硒nem撕cs，characterizedby physical conc印tion，is、videly uSedinrnodem semiconductormaterial its is a11alysis．WhereaS a11alysisappliance restrictedwittlin me stnlcturessuchas and totally periodic super-la砸cequannⅡn tlleimension tlle tocommonstmctllredmaterials pots．Bearing theory of印plying by done have the introducingseVeml锄end，we follOwing、vorks： 1．Wbhave the add他ssedesse砸al aIld physical ofkinematicso彘red meaning d鲥Vation ofitskemel have we also the