第3.1章_压力检测方法与仪表60页.pptVIP

化工仪表及自动化 昆明理工大学 杨彪 2010~2011学年下 第三章 检测仪表及传感器 知识结构 弹性敏感元件的一般特性 弹性元件——弹性形变 I/O 广义的力—广义的位移 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 220V供电 动态性能 弹性敏感元件的一般特性 常用的弹性敏感元件 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 柔度（灵敏度） 刚度 刚度与测量 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性滞后 迟滞 迟滞误差 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性后效 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性后效 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性后效与蠕变 弹性敏感元件的一般特性 弹性敏感元件的一般特性 弹性材料的机械品质因素 电容式压力传感器 ——典型的电容式压力传感器 ——硅微机械电容式压力传感器（MEMS） 典型电容式压力传感器 电容式压力传感器—原理 电容式压力传感器—设计 圆平膜片几何结构参数的设计 圆平膜片的半径与厚度 圆平膜片的边界隔离部分 固定极板的设计 输出电路 电容式压力传感器—输出电路 差动电桥的实现 非线性特性的影响 硅微机械电容式压力传感器(MEMS) 敏感结构与工作原理 方膜片的位移特性 方膜片的位移特性(上表面) 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 如图所示，其中定板1和动板2 当动板2移动，改变间距 ， 从而改变了电容量C 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 当变化一个 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 结论： ?上述表明:在 ?非线性误差 ?灵敏度： 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 结论： ?灵敏度： 显然 越小，灵敏度越高。但是非线性误差 会增大；存在矛盾。 （2）双极板式平行板电容器 为了克服上述灵敏度K和非线性误差 之间的矛盾，可采用差动式结构的电容器，如图所示 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （2）双极板式平行板电容器 两块定板和中间一块动 板组成差动结构。 初始：动板在中间位置。 则 当动板上移 后， 增加一个 ， 减少一个 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （2）双极式平行板电容器 则 那么差动输出 ， 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （2）双极式平行板电容器 忽略高次项，整理得到 结论： ?上述得到差动式电容器灵敏度 是原来的2倍关系，提高了1倍。 ?非线性误差 第4.1节 电容式传感器工作原理及类型 4.1.2、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （2）双极式平行板电容器 ?非线性误差 在数值上只减少了一个数量级。差动测量可以减少非线性误差（即系统误差） 流量仪表是过程自动化仪表与装置中的大类仪表之一，它被广泛应用于冶金、电力、煤炭、化工、石油、交通、建筑、轻纺、食品、医药、农业、环境保护及人民日常生活等国民经济各个领域，它是发展工农业生产、节约能源、改进产品质量、提高经济效益和管理水平的重要工具，在国民经济中占有重要的地位。 电测压力法 电容式测压原理 采用变电容原理，利用弹性元件受压变形来改变可变电容器的电容量，然后通过测量电容量C便可以知道被测压力的大小，从而实现压力-电容转换的 定极板 弹性元件 动极板 被测压力