压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究 comparison and study of finite element analysis for piezoelectric energy harvesting devices.pdfVIP

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2017-10-14 发布于上海
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压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究 comparison and study of finite element analysis for piezoelectric energy harvesting devices.pdf

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压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究 comparison and study of finite element analysis for piezoelectric energy harvesting devices

MEMS传感器 MEMSand 压电能量收集器件基于有限元仿真比较和研究朱伦，朱志炜，张卫，吴东平 (复旦大学微电子学系专用集成电路与系统国家重点实验室，上海 200433) 摘要：利用压电材料制作的器件采集环境中的振动能量，并转化为电能的微尺度器件正日益受到广泛关注。通过有限元仿真分析，研究了新颖的垂直式纳米线阵列结构(VING)和常见的压电悬臂梁结构的能量收集性能。在更贴近实际情况的低频条件下计算了75000根纳米线阵列结构和压电悬臂梁结构的输出电压以及单位体积能量输出功率，并指出了其各自的特点。最后得出结论：VING更适于在振动强度较大的环境中工作，而悬臂梁结构则更适于在接近其谐振频率的环境中工作。关键词：能量收集；压电效应；有限元分析；垂直式纳米线阵列(VING)；悬臂梁；谐振频率中图分类号：TH703文献标识码：A 文章编号：1671—4776(2012)04-0248-06 and ofFiniteElement ComparisonStudy Analysis forPiezoelectric Devices EnergyHarvesting ZhuLun，Zhu Wei，Wu Zhiwei，Zhang Dongping (State ASICand Microelectronics， KeyLaboratoryof System，Departmentof Fudan 200433，China) University，Shanghai devicesbasedonthe Abstract：The materialusedtocollecttheenvironmentalvibra— piezoelectric tion andtransfertotheelectrical attract energy power attention．The increasinglygreat energy harvesting ofthenovel properties vertical—nanowire-arrayintegrated normal cantileverwerestudied thefiniteelement piezoelectric vol— through approach．The output and intermsof volume tage energyoutputpower per ofa75000nanowire-basedVINGandatra— ditionalcantileverwerecalculatedinamore atthelow featuresof