原创力文档一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析 design and analysis of a novel differential si-based micro-accelerometer based on resonant fork.pdfVIP
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一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析 design and analysis of a novel differential si-based micro-accelerometer based on resonant fork
g25卷第1期 传感技术学报 V01．25No．1
CHINES8JOURNALOFsENmRsANDACTUATORS
2012年1月 Jan．2012
and ofaNovelDifferentialSi·Based
DesignAnalysis
Based
Micro．AccelerometeronResonantFork+
FAN Miaomiao，LI
Shangchun+，SUNCheng
(School
ofinstrumentscience＆opto。electronicsengineering，BeihangUniversity，Beijing
100191，China．)
ordertoenhancethe andtoreducethesizeoftheresonant
Abstract：In sensitivity，stability
anovelstructurefortheresonantSi—basedmicro—accelerometer．Inertialforceofthe massis
paperproposes proof
andmeasureda mechanismanda ofdifferential
amplified by one—·stagemicro··leverage pair
the shiftofthe canbededuced．
natural acceleration
fork(DETF)resonators DETF，the
respectively．Fromfrequency
canbe to manufacturethis the
Bulk—micromachiningadopted accelerometer，andcorrespondinggeneral
is andfiniteelement are to the
manufacturingprocesspresented．Analyticalanalysis(FEA)methodsappliedoptimize
isin obtainedFEA
sensitive ofthe result withthat
accelerometer；the agreement
component analytical good by
FEA oftheaccelerometeris57．4 ofthe showthatthis ac-
method，thesensitivity
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